Introducción Lo importante es que no nos propusimos simplemente crear “otra” lámpara más. Hemos diseñado este reemplazo para Mattson RTP con el...

Calentadores de halógeno de alta precisión: La clave para mantener una estabilidad de 0,1 °C en las fábricas de wafers Hemos desarrollado estos...

En la planta de fabricación, el proceso de secado del fotoresisto es cuando se establece el presupuesto térmico para todo el ciclo de litografía. Si...

En la planta de producción, las fluctuaciones térmicas no son simplemente desviaciones; son causantes de errores en el proceso de deposición del...

En la planta de fabricación, un desvío de medio grado durante el proceso de horneado es suficiente para afectar negativamente el control de las...

En el suelo de litografía, no se puede permitir ningún tipo de desviación. Un calentamiento insuficiente, incluso de medio grado, puede alterar el...

En la planta de fabricación, una variación de temperatura de 0,5°C durante el proceso de curado del fotolito es suficiente para alterar los rangos de...

En la planta de fabricación, la reparación de herramientas no está prevista en el calendario de trabajo; se trata más bien de una situación de...

En la sala de litografía, sabes cómo es. Un horneado suave que se desvía aunque sea una fracción de grado puede manifestarse como variación en el...

En la línea de 300mm, el apilamiento TSV se descompone en el momento en que la uniformidad térmica comienza a desviarse. Una excursión de un solo...

En la planta de litografía, el horneado del fotoresistente no es solo un paso térmico, sino también dimensional. Una desviación de 1 °C en el soft...