Wie man MEMS-Wafer trocknet, ohne sie dabei zu beschädigen
Das Trocknen von MEMS-Sensorwafern ist eine heikle Aufgabe. Man muss das Wasser schnell entfernen – doch wenn man zu aggressiv vorgeht, können die empfindlichen Mikrostrukturen zerstört werden.
Um diesen idealen Ausgleich zu finden, verwenden wir Infrarotheizgeräte in Kombination mit goldbeschichteten Reflektoren. Das Ziel ist ganz einfach: Energieverschwendung vermeiden und sicherstellen, dass jeder einzelne Photon tatsächlich auf den Wafer trifft.
Warum Gold?
Die meisten Menschen verwenden Aluminiumreflektoren – doch das hat einen Nachteil: Aluminium nimmt viel Infrarotenergie auf. Wir wählen stattdessen hochreines Gold, denn es reflektiert das Nahinfrarotlicht äußerst effektiv dorthin, wo es hingehört.
Es geht jedoch nicht nur um die Reflexion. Durch die Kombination einer Goldschicht mit einer präzisen parabolischen Kurve kann man die Wärme gezielt lenken. Dadurch entsteht ein konzentrierter Energiefokus auf dem Wafer – man muss also nicht die Spannung der Lampen erhöhen, um die Arbeit zu erledigen. So ist es intelligenter und einfacher.
Ausgleich zwischen Leistung und Wärme
Bei der Einrichtung dieser Geräte geht es um den Ausgleich zwischen Geschwindigkeit und Sicherheit.
Klar, Hochleistungsleuchten eignen sich gut, um große Mengen an Wafern schnell zu trocknen. Doch sie erzeugen auch eine enorme Menge an Wärme. Wenn die Kühlung des Gehäuses nicht richtig funktioniert, bleibt diese Wärme zurück. Bald schon können die Temperaturwerte durcheinandergeraten – und das kann dazu führen, dass die Wafer beschädigt werden. Das ist wirklich kein Problem, das man haben möchte.
Sichere Funktionsweise
Wir haben diese Geräte so konstruiert, dass sie schnell ausgetauscht werden können. Niemand möchte, dass die Produktionslinie stundenlang stillsteht.
Die Reflektoren sind perfekt auf die Achse der Lampe ausgerichtet – dadurch entstehen keine „Kaltpunkte“ auf dem Wafer. Allerdings ist Gold empfindlich: Wenn in der Fabrik viele korrosive Dämpfe vorhanden sind, können die Beschichtungen beschädigt werden. Man muss sie entweder schützen oder sie genau im Auge behalten. Und bitte: Seien Sie vorsichtig beim Reinigen. Verwenden Sie die richtigen Lösungsmittel. Eine falsche Behandlung mit einem rauen Tuch kann die Oberfläche beschädigen – und dann sinkt auch die Effizienz der Geräte.