利用高纯度石英红外灯为100级洁净室实现零污染加热

如何让100级洁净室始终保持清洁状态？ 在100级洁净环境中对真空腔内的物品进行加热时，哪怕出现一点点错误都是不可容忍的。哪怕有那么一丁点的灰尘或化学气体存在，整批芯片都会报废。 大多数普通的加热元件根本不适合这种环境使用。它们可能会释放出杂质或发生氧化反应，从而导致污染物附着在工件上。因此，我们...