如何让100级洁净室始终保持清洁状态？ 在100级洁净环境中对真空腔内的物品进行加热时，哪怕出现一点点错误都是不可容忍的。哪怕有那么一丁点的灰尘或化学气体存在，整批芯片都会报废。 大多数普通的加热元件根本不适合这种环境使用。它们可能会释放出杂质或发生氧化反应，从而导致污染物附着在工件上。因此，我们选择使用高纯度的合成石英红外灯。 防止“起雾”现象 玻璃材质有个特点：在真空环境中，其中的杂质会聚集在表面并蒸发。如果所使用的石英质量不佳，工件上就会形成一层雾状的薄膜。 我们使用的是羟基含量极高的熔融石英。虽然这听起来很专业，但实际上这意味着即使在高温度环境下，这种灯也不会分解或释放出任何气体。这样一来，工件就能保持干净状态。 应对热量问题 真空环境很棘手，因为没有空气来传导热量。所有热量都是通过辐射来传递的。 我们特意调整了这些灯的设置，使其能够发出短波红外线。这样，热量可以更深入地渗透到材料中，从而不必等待材料完全升温。效率非常高。 不过，这也意味着灯的末端会变得非常热。如果水冷装置设计不当，就可能导致密封件熔化，进而引发泄漏。在启动设备之前，务必仔细检查这一点。 细节之处 我们在灯具的制造环节极为注重细节。绝不使用廉价塑料或粘合剂。我们会用高纯度金属来焊接灯丝，确保不会留下任何残留物。 此外，灯具的安装也必须十分精确，不能有任何松动的情况，因为振动也会产生不必要的颗粒物。 如此一来，就能获得所需的加热效果，同时避免产量下降的问题。不过要记住：功率越大，冷却系统就需要更加努力地工作，才能防止整个腔室过热。