晶圆加工设备的温度传感器

为什么“足够好”对晶圆加工工具来说行不通 在将加热元件或传感器送往客户手中时，所谓的“随机抽样检测”根本没什么用处。这种做法根本无法确保产品的质量。 试想一下：在极高真空环境中，哪怕出现一点点绝缘故障，都可能引发严重后果。那意味着电源会损坏，甚至整批晶圆都会被污染。这绝对是一个没人愿意遇到的噩梦。...