为什么“足够好”对晶圆加工工具来说行不通
在将加热元件或传感器送往客户手中时，所谓的“随机抽样检测”根本没什么用处。这种做法根本无法确保产品的质量。
试想一下：在极高真空环境中，哪怕出现一点点绝缘故障，都可能引发严重后果。那意味着电源会损坏，甚至整批晶圆都会被污染。这绝对是一个没人愿意遇到的噩梦。
因此，我们必须对每一个部件进行彻底检测，没有例外。每个部件在离开工厂之前，都必须经过耐压测试和绝缘电阻测试。
对部件的严格测试
晶圆加工工具所处的环境是极端的高温变化环境，各种材料会不断膨胀和收缩。久而久之，这些应力会在陶瓷绝缘体上产生微裂纹，或者侵蚀电线的绝缘层。
如果某个传感器存在隐藏的缺陷，那么它在正常工作温度下可能不会出现问题。但一旦达到工作温度，它就会立即失效。
为避免这种情况，我们会给部件施加远高于其正常工作时的电压，从而让那些隐藏的缺陷暴露出来。如果发现漏电流异常升高，那就说明该部件已经无法使用。我们要求的不是“基本正常工作”，而是确保没有任何不必要的导通路径。
绝缘性能的详细检测
我们会用兆欧表来测量绝缘电阻，以此判断材料的绝缘性能如何。通常，如果绝缘电阻下降，那是因为有湿气侵入，或是组装过程中有杂质混入。
我们会使用高压直流电源来对部件的整个表面进行测试，这样才能确保其绝缘性能均匀。只有这样，才能防止加热元件与工具外壳之间发生电弧放电，从而避免设备损坏。
平衡各因素之间的关系
这始终是一个权衡问题。如果你希望获得更高的电压以提升加热效率，那么绝缘层就必须具备更强的绝缘能力。如果你希望让工具更加紧凑，或者希望其能更快地响应温度变化，那么就需要使用更薄的绝缘层。不过，那样一来，出现故障的可能性就会大大增加。
你必须在绝缘层的厚度与热量传递效率之间找到平衡点。如果你要为高电压环境设计工具，那么就必须确保其接地系统完好无损。否则，就可能会出现电压不平衡的问题，而这无疑会带来麻烦。