别再等待清洁车了
如果在半导体生产线上搬运晶圆，你一定知道其中的麻烦。为了保持温度稳定，必须不断努力。目前大多数工厂仍在使用热空气循环系统，不过说实话，这种做法效率很低。 强制空气对流的速度实在太慢了。实际上，你得等待大量空气变热之后才能让热量作用于晶圆上，这无疑是在浪费时间。 而红外线技术则有所不同。 红外线不需要通过空气来传递热量，而是直接利用电磁波作用于目标物体。想象一下，等待整个房间升温与直接站在阳光下相比，有什么区别吧。 将红外线加热器安装在传送带上后，原本需要几分钟的升温时间可以缩短到几秒钟。因为不需要加热整个房间，只需加热目标区域即可，这样一来，等待的时间就消失了。 不过，这并非没有挑战。 使用红外线加热器并不像开关那么简单。这些加热器在极小的空间内就能产生强大的热量，这对布局来说很方便，但同时也对控制系统的性能提出了更高要求。你需要使用能够快速响应的PID控制器。如果传感器反应迟缓，就可能导致温度过高，从而烧毁晶圆。这种错误可不能犯一次。 不过，还有个好处：这些加热器可以很容易地安装在你现有的框架中。由于不再需要那些笨重的鼓风机，振动问题也得到了解决。这样一来，晶圆就能保持更稳定的状态。 最大的好处就是效率的提升。 由于升温时间大幅缩短，工作速度也会加快。每班次能完成的工作量也会增加。此外，电费也会随之下降——当然是好事。因为你不再需要与空调系统作斗争来保持某个小空间的温度了。 这是一种更高效的工作方式。当然，还要确保传送带材料能够有效吸收红外线，否则热量只会被反射出去，白白浪费能量而已。