Tại sao chúng ta lại từ bỏ phương pháp sử dụng không khí nóng để thay bằng tia hồng ngoại trong quá trình sấy các linh kiện bán dẫn
Nếu bạn từng làm việc trong các nhà máy sản xuất bán dẫn, chắc hẳn bạn hiểu rõ những khó khăn trong việc sấy các linh kiện sau khi rửa chúng. Trong thời gian dài, chúng ta vẫn sử dụng phương pháp sấy bằng không khí nóng. Nhưng thành thật mà nói, phương pháp này rất chậm. Bạn phải chờ đợi không khí di chuyển để truyền nhiệt, và điều này mất rất nhiều thời gian.
Đó là lý do tại sao chúng ta chuyển sang sử dụng tia hồng ngoại. Thay vì chờ đợi không khí làm công việc sấy, tia hồng ngoại có thể trực tiếp chiếu vào bề mặt wafer. Đây là phương pháp hiệu quả hơn nhiều.
Giành lại thời gian
Các thiết bị sấy bằng không khí nóng thường rất cồng kềnh. Chúng chiếm quá nhiều diện tích trong phòng sạch, và khiến wafer phải ở trong trạng thái sấy trong thời gian dài để loại bỏ hết nước, mà không gây ra các vết bẩn trên bề mặt wafer.
Chúng tôi sử dụng đèn hồng ngoại chống nước để tránh tình trạng phải chờ đợi. Vì năng lượng từ đèn hồng ngoại có thể xuyên qua chất lỏng và làm nóng wafer ngay lập tức, nên quá trình sấy có thể được rút ngắn từ vài phút xuống còn vài giây. Nhờ đó, số wafer có thể được sấy mỗi giờ sẽ tăng lên, và bạn cũng không cần phải dỡ bỏ tường để chỗ cho các thiết bị khác.
Thiết kế dành cho môi trường ẩm ướt
Vấn đề là: các đèn hồng ngoại thông thường không thể hoạt động tốt trong môi trường ẩm ướt. Nếu đặt chúng trong môi trường có độ ẩm cao hoặc bị phun nước vào, chúng sẽ hỏng ngay.
Để khắc phục điều này, chúng tôi sử dụng các vỏ bọc bằng thạch anh và các bộ phận chống nước. Những chiếc đèn này được thiết kế để chịu được điều kiện ẩm ướt và các tác động nhiệt, mà không bị hỏng. Nhờ đó, việc truyền nhiệt diễn ra hiệu quả, ngay cả khi môi trường xung quanh ẩm ướt.
Phần khó khăn
Tuy nhiên, mọi thứ cũng không hoàn toàn dễ dàng. Tia hồng ngoại tạo ra lượng nhiệt lớn trong một khu vực nhỏ, vì vậy bạn cần phải kiểm soát lượng nhiệt này cẩn thận. Nếu hệ thống làm mát không hoạt động tốt, bạn có thể làm nóng quá mức các cạnh của wafer hoặc làm hỏng các cảm biến. Đó là một sự cân bằng khó khăn – bạn cần đủ công suất để làm khô nước, nhưng cũng không được quá mức để tạo ra các điểm nóng.
Nhưng một khi bạn tìm được sự cân bằng đúng đắn, mọi thứ sẽ trở nên dễ dàng hơn. Bạn chỉ cần thay thế các máy sấy lớn và ồn ào bằng các bộ phận sấy bằng tia hồng ngoại nhỏ gọn hơn. Cuối cùng, mục tiêu vẫn là giúp các linh kiện được sấy nhanh chóng và hiệu quả.