Hãy ngừng sử dụng phương pháp nung nóng truyền thống để xử lý wafer: Một cách tốt hơn để làm nóng wafer Vấn đề trong quy trình chế tạo bán dẫn là việc cần làm nóng wafer, nhưng lại không muốn làm nóng chảy các thiết bị đắt tiền khác trong quá trình này. Các bộ sưởi thông thường chỉ phát nhiệt ra mọi hướng. Điều này gây ra nhiều vấn đề: nhiệt lượng dư thừa sẽ lan vào các bức tường của buồng xử lý, khiến thiết bị trở nên quá nóng để chạm vào; hơn nữa, điều này còn có thể làm biến dạng các bộ phận nhạy cảm bên trong thiết bị. Điều này hoàn toàn không tốt chút nào. Bí quyết để nung nóng một cách có chọn lọc Chúng tôi sử dụng các bóng đèn hồng ngoại tia ngắn để giải quyết vấn đề này. Thay vì phát nhiệt ra mọi hướng, các bóng đèn này tập trung năng lượng vào wafer. Chúng tôi sử dụng các bộ phản xạ chuyên dụng và các lớp phủ đặc biệt trên vỏ bóng đèn để giúp năng lượng được tập trung vào mục tiêu. Nhờ vậy, nhiệt lượng không lan sang các bộ phận khác của thiết bị, giúp bảo vệ các bộ phận nhạy cảm bên trong. Tìm ra khoảng cách lý tưởng Bạn không thể đặt bóng đèn hồng ngoại ngay sát wafer được. Nếu làm vậy, bạn sẽ tạo ra những điểm nóng cục bộ, hoặc trong trường hợp tồi tệ nhất, wafer sẽ bị cháy. Yếu tố quan trọng là khoảng cách giữa bóng đèn và wafer. Nếu bóng đèn quá gần, nhiệt lượng sẽ không đồng đều; nếu quá xa, bạn chỉ lãng phí năng lượng vào việc làm nóng không khí xung quanh wafer mà thôi. Chúng tôi thường dành nhiều thời gian để cân nhắc mức độ tăng nhiệt độ mong muốn so với mức độ đồng đều của nhiệt lượng. Những rủi ro khi tăng công suất bóng đèn Không có gì là miễn phí cả. Mặc dù phương pháp nung nóng có chọn lọc giúp bảo vệ các bộ phận của thiết bị, nhưng nó lại gây áp lực lớn lên sợi dây tóc bên trong bóng đèn. Vì năng lượng được tập trung cao, nên bóng đèn sẽ trở nên rất nóng. Bạn cần chú ý đến việc kết nối các dây điện; hãy đảm bảo rằng các đầu nối có thể chịu được dòng điện cao. Ngoài ra, hãy chú ý đến các quạt làm mát. Nếu chúng ngừng hoạt động, nhiệt lượng tập trung sẽ phá hủy vỏ bóng đèn nhanh hơn bạn có thể phản ứng kịp.