Tại sao chúng ta từ bỏ phương pháp sử dụng luồng khí ép để sưởi ấm trong các buồng kiểm soát môi trường cho ngành bán dẫn?
Nếu bạn đã từng làm việc trong môi trường xử lý công nghệ cao, chắc hẳn bạn hiểu rõ cảm giác khó chịu khi phải chờ đợi buồng kiểm soát môi trường được làm nóng.
Phương pháp cũ – sử dụng luồng khí ép – thật sự rất kém hiệu quả. Bạn phải dùng năng lượng để làm nóng từng phân tử argon hay nitơ trong buồng, chỉ để đạt được nhiệt độ mong muốn cho vật liệu cần xử lý. Điều này rất chậm và không hiệu quả chút nào. Thực ra, đó là sự lãng phí thời gian.
Đó là lý do tại sao chúng ta chuyển sang sử dụng phương pháp sưởi ấm bằng tia hồng ngoại (IR).
Bí quyết nằm ở chỗ: tia hồng ngoại không quan tâm đến loại khí trong buồng. Nó không lãng phí năng lượng để làm nóng không khí. Thay vào đó, nó truyền năng lượng trực tiếp vào bề mặt cần xử lý. Hãy tưởng tượng như ánh nắng mặt trời chiếu vào da bạn vào những ngày lạnh; dù không khí rất lạnh, nhưng bạn vẫn cảm nhận được hơi ấm.
Phương pháp này giúp giảm thời gian chờ đợi từ hàng giờ xuống còn vài phút thôi.
Khi thiết kế các bộ phận sưởi ấm bằng tia hồng ngoại, chúng tôi chú trọng đến mật độ năng lượng. Chúng tôi sử dụng tia hồng ngoại tần số cao vì nó có thể phản ứng ngay lập tức. Chỉ cần bật công tắc, nhiệt độ sẽ lập tức đạt mức cần thiết.
Ngoài ra, bạn còn có thể loại bỏ những máy thổi khí cồng kềnh và các đường ống phức tạp. Diện tích thiết bị sẽ giảm đi, và không gian làm việc sẽ trở nên thoáng đãng hơn.
Nhưng đây không phải là phép màu. Vẫn còn một số điều cần lưu ý. Vì tia hồng ngoại di chuyển theo đường thẳng, nếu vật liệu cần xử lý có hình dạng kỳ lạ, bạn có thể gặp phải tình trạng “điểm nóng”. Bạn không thể dùng luồng khí ấm để điều chỉnh nhiệt độ. Bạn cần chọn vị trí đặt các bộ phận sưởi ấm một cách cẩn thận, hoặc sử dụng các tấm phản xạ để lan tỏa nhiệt ra xung quanh.
Và một lưu ý nữa: đừng sử dụng công suất quá cao mà không có biện pháp bảo vệ phù hợp. Nếu làm vậy, bạn sẽ làm hỏng các bộ phận đóng kín buồng kiểm soát môi trường, dẫn đến tình trạng rò rỉ chân không. Đó không phải là điều gì dễ chịu chút nào.
Cuối cùng, mục tiêu chính là giảm thời gian chờ đợi trong quy trình sản xuất. Không ai muốn phải đứng đợi mãi cho đến khi buồng kiểm soát môi trường được làm nóng. Trong các dây chuyền sản xuất với công suất cao, việc giảm thời gian chờ đợi 40% thực sự rất quan trọng. Đó chính là sự khác biệt giữa việc hoàn thành công việc đúng hạn và việc phải chờ đợi mãi mà không thể tiếp tục công việc.
Chúng tôi thiết kế các bộ phận sưởi ấm sao cho chúng có thể phù hợp với không gian hẹp trong buồng kiểm soát môi trường, đồng thời đảm bảo nhiệt độ ổn định, giúp bạn hoàn thành công việc một cách dễ dàng.