Чому ми відмовляємося від використання гарячого повітря на користь інфрачервоного випромінювання для сушіння напівпровідників
Якщо ви коли-небудь працювали на заводі з виробництва напівпровідників, то знаєте, як складно є процес сушіння після промивання. Довгий час ми користувалися лише гарячим повітрям для сушіння. Але будемо чесними: цей метод є дуже повільним. Ви просто чекаєте, поки повітря розноситиме тепло, а це займає багато часу.
Ось чому ми перейшли на використання інфрачервоного випромінювання. Замість того, щоб чекати, поки повітря виконає свою роботу, інфрачервоне випромінювання безпосередньо впливає на поверхню пластини. Це зовсім інший підхід.
Звільнення часу
Установки з використанням гарячого повітря є об’ємними. Вони займають занадто багато місця в чистильній кімнаті, а також змушують пластини залишатися там протягом тривалого часу, щоб усунути воду з поверхні. Ми використовуємо водонепроникні лампи інфрачервоного випромінювання, щоб уникнути такої необхідності. Оскільки енергія інфрачервоного випромінювання проникає крізь рідину та миттєво нагріває поверхню пластини, процес сушіння може займати лише кілька секунд. Кількість пластин, які можна обробити на годину, зростає, а також не потрібно руйнувати стіни, щоб розмістити більше обладнання.
Придатність для роботи в умовах високої вологості
Є одна проблема: звичайні лампи інфрачервоного випромінювання не люблять воду. Якщо їх помістити в середовище з високою вологістю чи обприскати водою, вони пошкодяться. Щоб уникнути цього, ми використовуємо спеціальні кварцові корпуси та водонепроникні ущільнювачі. Ці лампи призначені для роботи в умовах постійної вологості та температурних перепадів. Вони забезпечують ефективну передачу тепла, навіть у складних умовах.
Проблеми під час використання
Але все не так просто. Інфрачервоне випромінювання створює велику кількість тепла в невеликій області, тож потрібно уважно контролювати рівень тепла. Якщо система охолодження не налаштована правильно, може виникнути проблема – краї пластини можуть надто сильно нагрітися, а також пошкодитися датчики. Потрібно знайти правильний баланс – достатню потужність для швидкого висушування, але не настільки велику, щоб утворилися „точки підвищеного температури“.
Але як тільки цей баланс досягнутий, все стає простим. Замість великих та шумних вентиляторів використовується компактна система інфрачервоного випромінювання. У кінцевому підсумку, головне – щоб частина швидко пройшла процес сушіння.