Почему мы отказываемся от использования горячего воздуха в процессе сушки полупроводниковых пластин
Если вы когда-либо бывали на производственной площадке, вы знаете, как трудно осуществить сушку после промывки. Долгое время мы использовали горячий воздух для сушки. Но честно говоря, это медленный процесс. Приходится ждать, пока воздух распространит тепло по поверхности пластины — это занимает много времени.
Поэтому мы перешли на использование инфракрасных ламп. Вместо ожидания, пока воздух выполняет свою работу, инфракрасное излучение непосредственно воздействует на поверхность пластины. Это значительно ускоряет процесс сушки.
Возвращаем потерянное время
Устройства, использующие горячий воздух, имеют большие размеры. Они занимают слишком много места в чистой комнате, а также заставляют пластины оставаться там долгое время, чтобы вода полностью испарилась, без образования нежелательных следов на поверхности.
Мы используем водонепроницаемые инфракрасные лампы, что позволяет избежать такого ожидания. Энергия лампы проникает сквозь жидкость и мгновенно нагревает поверхность пластины. Таким образом, процесс сушки, который раньше занимал несколько минут, теперь занимает всего несколько секунд. Это позволяет увеличить количество пластин, обработанных в час, а также избежать необходимости расширения помещений для размещения дополнительного оборудования.
Устройства, предназначенные для использования в условиях высокой влажности
Но есть одна проблема: стандартные инфракрасные лампы не выдерживают воздействия воды. Если их поместить в условия высокой влажности или обработать их спреем для промывки, они могут разрушиться.
Чтобы решить эту проблему, мы используем специальные кварцевые корпуса и водонепроницаемые уплотнители. Эти лампы способны выдерживать постоянную влажность и температурные колебания без повреждений. Таким образом, достигается эффективная передача тепла, и все работает надежно даже в условиях высокой влажности.
Сложности
Но это не совсем просто. Инфракрасное излучение создает очень высокую температуру в небольшой зоне, поэтому необходимо контролировать количество энергии, чтобы не перегреть края пластины или повредить датчики. Нужно найти правильный баланс между объемом энергии и температурой.
Но как только этот баланс найден, все становится проще. Можно заменить громоздкие и шумные вентиляторы на компактные инфракрасные лампы. В конце концов, главное — как можно быстрее завершить процесс сушки.