Как сохранить чистоту в классе 100
В производстве полупроводников даже одна пылинка или одна молекула газа могут разрушить всю партию выпускаемых изделий. Это очень раздражает — вы сделали все правильно, но один маленький кусочек загрязнения может испортить всю партию.
Часто причиной является сам нагревательный элемент. Стандартные нагреватели начинают выделять частицы и газы как только достигают рабочей температуры. Чтобы этого избежать, мы используем инфракрасные лампы из высокочистого кварца вместе с проводкой, изготовленной из Тефлона (ПТФЭ).
Вот почему это работает:
Магия высокочистого кварца
Для этих ламп мы используем синтетический фьюзованный кварц. Это совершенно другой материал по сравнению со стандартным стеклом. Он не выделяет металлических примесей в окружающую среду, а также не деформируется под действием тепла.
Лучше всего то, что эти лампы используют коротковолновое инфракрасное излучение. Энергия поступает непосредственно на поверхность подложки, без нагрева воздуха вокруг нее. Это очень важно, так как таким образом предотвращаются конвективные потоки воздуха, которые могут поднять пыль с пола и занести ее в зону производства.
Почему мы используем Тефлон (ПТФЭ)
Если использовать проводку из ПВХ или силикона, она будет разрушаться под действием высоких температур инфракрасных ламп. Они начинают выделять невидимые химикаты в чистую комнату.
Поэтому мы используем проводку, покрытую ПТФЭ. Она остается химически инертной: она не плавится, не имеет запаха и не выделяет летучих органических соединений в воздух. Таким образом, проводка может выдерживать высокие температуры без загрязнения помещения.
Реальность установки
Установка таких ламп в нагреватели для полупроводников — сложная задача. Необходимо тщательно продумать расположение проводки.
Помните: Тефлон очень прочен, но он не является неприкосновенным. Если проводка будет расположена прямо в луче инфракрасного излучения или слишком близко к кварцевому корпусу, изоляция со временем будет повреждена. Этот процесс происходит медленно, но он неизбежен.
Я всегда рекомендую использовать защитный экран или создавать дополнительное пространство между проводкой и источником тепла, чтобы температура проводки не превышала 260°C. Также нужно контролировать поток воздуха. Если система охлаждения не может удалять тепло от электрических контактов, изоляция со временем будет разрушаться.
Если правильно настроить поток воздуха, лампы будут работать без проблем. Без пыли, без проблем.