На производственной площадке термические отклонения являются не просто небольшими искажениями – они могут привести к существенному снижению качества продукции. Если камера для спэттеринга отклоняется даже на незначительное расстояние от заданного параметра, это приводит к возникновению напряжений в слое, образующемся на поверхности кристалла, а также к неоднородности его толщины. Это, в свою очередь, влияет на процессы литографии и эчинга. Мы разработали инфракрасные нагреватели, которые помогают устранить такие отклонения, сохраняя стабильность процесса нанесения покрытия прямо на поверхности кристалла.
Наш дизайн с использованием коротковолнового инфракрасного излучения обеспечивает быстрое и прямое нагревание кристалла, при этом однородность температуры на его поверхности поддерживается в пределах ±0,1°C. Геометрия кварцевого радиатора и система контроля в замкнутом цикле позволяют сохранять стабильность температуры, что значительно снижает риск превышения заданных параметров. При обработке фоторезиста такой же инфракрасный нагреватель обеспечивает точное удаление растворителя и гарантирует чистое и однородное покрытие кристалла, что снижает вероятность возникновения ошибок при последующей обработке.
Устройство спроектировано таким образом, чтобы его можно было использовать в чистых комнатах. Корпус нагревателя работает без образования частиц в условиях класса чистоты 1–100. Материалы с низким уровнем выбросов предотвращают загрязнение во время длительной работы устройства. Отсутствие частиц на краях кристалла снижает количество бракованных изделий и упрощает процедуру технического обслуживания. В результате достигается стабильная скорость работы устройства, снижается потребление энергии на единицу продукции, а свойства покрытия остаются однородными даже при производстве больших партий изделий.
Установка устройства на большинстве платформ для спэттеринга происходит легко, однако компактные размеры устройства требуют учета пространства вокруг защитных элементов и фиксирующих приспособлений. Необходимо заранее спланировать процесс интеграции устройства – соотнести интерфейс крепления и убедиться в достаточном количестве пространства для оптического пути перед началом работы. После установки устройство может работать 24/7 с минимальными отклонениями. Уровень повторяемости, указанный в технической документации, также сохраняется в процессе производства, что гарантирует соответствие параметров качества изделий на протяжении всего цикла производства.