Как высушить пластины MEMS без их повреждения
Высыхание пластин с датчиками MEMS – это своего рода балансировка между необходимостью быстрого удаления воды и необходимостью защиты хрупких микроструктур от повреждений.
Чтобы достичь этого баланса, мы используем инфракрасные нагреватели в сочетании с отражателями, покрытыми золотом. Цель проста: избегать лишнего расхода энергии и обеспечить точное попадание каждого фотона на пластину.
Почему именно золото?
Большинство людей предпочитают использовать алюминиевые отражатели, но у них есть один серьезный недостаток: алюминий поглощает большое количество инфракрасной энергии. Мы выбираем высокочистое золото, потому что оно очень эффективно отражает ближнее инфракрасное излучение обратно туда, откуда оно исходит.
Но речь идет не только о отражении света. Сочетая слой золота с точной параболической формой, мы можем направлять тепло точечно на пластину. Это позволяет избежать необходимости повышения напряжения на лампах для достижения желаемого результата. Это более эффективный способ.
Баланс между мощностью и теплом
При настройке оборудования важно найти баланс между скоростью высыхания и безопасностью пластин. Конечно, лампы с высокой мощностью подходят для работы с большим объемом продукции. Но они производят огромное количество тепла. Если система охлаждения не справляется с этим теплом, оно просто накапливается. В результате параметры температуры начинают меняться, что может привести к повреждению пластин. Это серьезная проблема.
Обеспечение стабильной работы оборудования
Мы разработали это оборудование так, чтобы его можно было быстро заменить. Никто не хочет, чтобы линия производства простаивала по несколько часов. Отражатели смонтированы так, чтобы не было „холодных зон“ на пластине. Но имейте в виду: золото требует особого ухода. Если в производственном помещении много коррозионных паров, покрытие может повредиться. Вам придется либо защищать отражатели, либо постоянно следить за ними. И, пожалуйста, будьте осторожны при очистке. Используйте правильные растворители. Один неправильный шаг может повредить поверхность пластины, а это приведет к снижению ее эффективности.