Uso de Aquecedores a Infravermelhos em suas Caixas de Trabalho para Semicondutores
Se você ainda depende da circulação de ar quente para o processamento profundo de semicondutores, sabe bem dos desafios que isso representa. Você liga o aquecimento e espera… basicamente, você está aquecendo cada centímetro cúbico de ar dentro da caixa de trabalho, só para que a peça a ser processada atinja a temperatura correta. É um processo lento e ineficiente. É aí que a utilização de elementos a infravermelhos muda tudo. Em vez de lutar com o ar, os elementos a infravermelhos enviam energia diretamente para o substrato. Pare de perder tempo com o processo de aquecimento O ar é um péssimo condutor de calor. Quando se usa ventiladores, gasta-se muito tempo apenas para aquecer as paredes da câmara e a atmosfera antes mesmo de começar o trabalho real. Isso representa uma perda enorme de tempo. Os aquecedores a infravermelhos eliminam esse problema. O fluxo de calor é quase instantâneo. Para aqueles que trabalham com semicondutores de alta precisão, isso é uma grande vantagem. Os ciclos de processamento ficam mais curtos, e não há risco de poeira ou contaminantes serem levantados pelo ar circulando pela câmara. As dificuldades (e como resolvê-las) Nós desenvolvemos esses elementos a infravermelhos para que possam ser instalados nos espaços limitados das caixas de trabalho. Ao usar emissores de ondas curtas ou médias, é possível direcionar o calor exatamente para a área desejada, sem aquecer o resto da câmara. Mas há um detalhe importante: não basta simplesmente conectá-los e deixá-los funcionando. Os elementos a infravermelhos reagem muito mais rapidamente do que os tradicionais enrolamentos resistivos. Se os controles PID não estiverem bem ajustados, a temperatura pode ultrapassar o valor desejado rapidamente. Além disso, se muitos watts forem aplicados em um único ponto, podem surgir pontos quentes. É preciso encontrar o equilíbrio certo entre a potência e a distância até a peça a ser processada, para manter tudo uniforme. Como fazer isso funcionar na prática Substituir um sistema de aquecimento por convecção não é algo simples. Os elementos a infravermelhos exigem uma linha de visão livre. Se algo bloquear o caminho, o calor não chegará ao alvo. Para resolver isso, geralmente recomendamos o uso de arrays refletivos ou multiângulares. Isso elimina as sombras e garante que o calor chegue de todos os lados. Uma dica final: verifique o sistema de resfriamento. Embora o ar dentro da caixa permaneça mais frio, o próprio invólucro do aquecedor sofre bastante com o calor. É necessário contar com um bom sistema de resfriamento para evitar danos ao hardware.