Na linii produkcyjnej wahania temperatury nie są zwykłymi odchyleniami – one powodują spadek jakości produktu. Pomieszczenie do procesu sputteringu, w którym temperatura odbiega choćby o niewielką wartość, powoduje nierównomierność grubości warstwy powstałej na płytkie oraz dodatkowe obciążenia termiczne. To z kolei wpływa negatywnie na proces litografii i etchingu. Stworzyliśmy specjalne grzałki w zakresie podczerwieni, aby wyeliminować te problemy i zapewnić stabilność procesu na poziomie powierzchni płytki.
Nasz system oparty na falach krótkich w podczerwieni dostarcza szybkie ciepło bezpośrednio na powierzchnię płytki, dzięki czemu nierównomierność temperatury utrzymuje się w granicach ±0,1°C. Geometria radiatora kwarcowego oraz system kontroli pozwalają na precyzyjne sterowanie temperaturą, co gwarantuje osiągnięcie żądanej grubości warstwy bez przekroczeń. W procesie obróbki fotorezystu ten sam system umożliwia precyzyjne usuwanie rozpuszczalników oraz zapewnia idealne wyniki w procesie hartowania płytek – mniej problemów zanieczyszczeń, które mogłyby później doprowadzić do błędów w produkcji.
System jest dostosowany do pracy w sterylnych warunkach. Korpus grzałki pracuje bez żadnych cząstek stałych w środowisku klasy 1–100, a materiały o niskiej emisji gazów zapobiegają zanieczyszczeniom podczas długotrwałego użytkowania. Brak cząstek stałych na krawędzi płytki oznacza mniej odpadów i prostszą konserwację. Dzięki temu uzyskujemy stałe czasy cyklu, niższą energię zużywaną na jedną płytkę oraz właściwości warstwy powstałej, które pozostają stałe w każdej partii produktu.
Instalacja jest prosta na większości platform sputteringowych, jednak małe rozmiary urządzenia wymagają uwzględnienia większej odległości od osłon i innych elementów konstrukcyjnych. Należy wcześnie zaplanować integrację urządzenia – dostosować interfejs montażowy i sprawdzić odległość ścieżki optycznej przed zmianą linii produkcji. Gdy urządzenie zostanie zainstalowane, może pracować 24/7 z minimalnymi odchyleniami, a jakość produkcji pozostaje stała w każdej partii produktu.