
Voorkom dat uw IR-lampen uw wafers beschadigen
Als u een productielijn met hoge belasting gebruikt, kent u vast dit probleem. Een IR-lamp gaat kapot. Het gaat niet alleen om de stilstand van de productielijn – het probleem is ook de chaos die ontstaat. Wanneer een kwartsbuis kapotgaat, vallen er glasscherven en wolframfilamenten op de siliciumwafers terecht. Eén kapotte lamp betekent dat al uw wafers verloren zijn.
We hebben veel tijd besteed aan het ontwerpen van onze controllers en lampen, zodat dit nooit zal gebeuren.
Omgaan met thermische spanningen
De meeste lampen gaan kapot door thermische schokken. Ze kunnen de plotselinge temperatuursveranderingen niet aan.
Daarom gebruiken we geen gewone aan/uit-schakelaars. Onze digitale controllers regelen zorgvuldig de snelheid waarmee de temperatuur stijgt of daalt. Door de stroomsterkte te regelen, voorkomen we dat de kwartsbuis te snel uitzet en barst.
We gebruiken kwarts van hoge zuiverheid, omdat dit materiaal de hitte beter kan verdragen. Maar natuurkunde is natuurkunde: als je 2000 watt door een kleine buis stuurt, worden de uiteinden van de buis extreem heet. Om dit te voorkomen, hebben we versterkte eindkapjes toegevoegd, zodat de spanning beter verdeeld wordt.
Let erop dat uw koelventilatoren goed zijn gesynchroniseerd met de controller. Anders kunnen de sluitingen van de apparaten beschadigen.
Het behouden van de schoonheid
Om ‘secundaire vervuiling’ te voorkomen, plaatsen we een fysieke barrière tussen de lamp en de wafels. Alles wordt beschermd door een huls gemaakt van kwarts of roestvrij staal.
Als een lamp kapotgaat, vangt de huls de glasscherven op. De wafels blijven onbeschadigd.
We hebben ook een veiligheidsmechanisme toegevoegd. De controller houdt in real-time de weerstand van de lamp in de gaten. Als er een plotselinge verandering optreedt – wat meestal betekent dat een filament is gebroken – wordt de stroom naar die zone onmiddellijk afgesloten. Hierdoor voorkomen we dat de andere lampen ook kapotgaan.
De trade-offs
Het nadeel is dat deze beschermende hulzen een klein beetje invloed hebben op de IR-uitzending. U zult waarschijnlijk de stroomsterkte iets moeten verhogen om de droogtingscyclus op gang te houden. Maar eerlijk gezegd is dat een kleine prijs die u moet betalen. Ik geef liever een paar seconden meer uit aan een cyclus, dan dat ik een partij wafels ter waarde van $100.000 verlies door één kapotte lamp.