적절한 열을 조절하는 것: 더 효과적인 웨이퍼 치유를 위한 비결 반도체 웨이퍼를 치유할 때 목표는 간단합니다. 즉, 기판에 손상을 주지 않으면서 열을 정확하게 필요한 곳에 전달하는 것입니다. 우리는 적외선을 이용해 치유를 진행합니다. 왜냐하면 적외선은 오염물질이 없고, 연소 과정도 없으며, 모두가 추구하는 환경친화적이고 납이 포함되지 않은 특성을 가지고 있기 때문입니다. 하지만 문제는, 사람들은 램프만을 칭찬하지만, 실제로 열을 효과적으로 전달하는 역할은 반사판이 수행한다는 점입니다. 에너지 낭비를 막으세요 적외선 램프를 생각해보세요. 램프는 에너지를 사방으로 방출합니다. 그대로 두면 그 열의 절반이 기계의 외부로 팔려나가 버립니다. 이는 단순히 돈과 전력의 낭비일 뿐입니다. 그래서 우리는 고순도 알루미늄이나 금으로 코팅된 반사판을 사용합니다. 이러한 반사판들은 낭비된 에너지를 다시 웨이퍼 쪽으로 반사시켜줍니다. 그 결과 열이 훨씬 더 강해집니다. 그렇게 되면 치유 속도가 빨라지고, 전력 비용도 줄어듭니다. 정말 간단한 원리입니다. 적절한 재료를 선택하세요 파장에 따라, 우리는 보통 양극 처리된 알루미늄이나 연마된 스테인리스 스틸을 사용합니다. 단파 적외선을 사용할 경우, 거의 모든 것을 반사할 수 있는 표면이 필요합니다. 만약 적절한 재료가 아니라면, 반사판 자체가 열을 흡수하게 됩니다. 그러면 금속이 변형되고, 초점이 이동하여 웨이퍼에 ‘열점’이 생깁니다. 한 순간은 치유가 진행되고, 다음 순간에는 칩이 손상됩니다. 작은 세부 사항도 중요합니다 이러한 시스템을 설정하는 것은 일종의 기술입니다. 램프와 반사판의 위치가 정확해야 합니다. 실제로, 단 1mm의 차이만으로도 효율성이 10%나 떨어질 수 있습니다. 또한 ‘열 축적’ 문제도 간과해서는 안 됩니다. 적외선은 깨끗하지만, 열이 매우 강합니다. 만약 기계의 구조가 그 열을 효과적으로 배출할 수 없다면, 주변의 전자 부품들이 손상될 수 있습니다. 이는 균형을 맞추는 작업입니다. 우리는 이러한 반사판들을 그냥 교체할 수 있도록 만듭니다. 전체 오븐을 철거하거나 몇 주 동안 설계를 다시 해야 하는 번거로움이 없습니다. 그냥 반사판만 교체하면 되며, 친환경적인 목표도 달성할 수 있고, 생산도 계속됩니다.