Mantenere una sala pulita di classe 100 effettivamente pulita Quando si riscalda qualcosa all’interno di una camera a vuoto in un ambiente di classe 100, non si può permettere alcun errore. Anche solo una piccola quantità di polvere o un gas chimico può rovinare l’intera partita di wafer prodotti. La maggior parte degli elementi riscaldanti standard non è adatta a questo scopo: essi perdono sostanze dannose o si ossidano, il che significa che questi elementi possono contaminare il materiale su cui vengono applicati i wafer. Ecco perché preferiamo utilizzare lampade a infrarossi in quarzo sintetico ad alta purezza.
La lotta contro la formazione di vapore Il problema del vetro è che, in condizioni di vuoto, le impurità tendono a migrare verso la superficie e a evaporare. Se il quarzo utilizzato non è di alta qualità, si formerà uno strato di vapore sulla superficie dei materiali da lavorare. Noi utilizziamo silice fusa con un alto contenuto di idrossili (OH). Sembrerà tecnicamente complicato, ma in pratica significa che la lampada non si degrada né emette sostanze dannose, anche quando i cicli termici sono intensi. Il materiale da lavorare rimane quindi pulito. Punto.
Gestire il calore Gli ambienti a vuoto presentano delle sfide, poiché non c’è aria che possa trasportare il calore. Tutto avviene attraverso la radiazione. Abbiamo progettato queste lampade in modo che emettano onde infrarosse a breve lunghezza d’onda. In questo modo il calore penetra più in profondità nei materiali, evitando così tempi di riscaldamento lunghi. È veloce. Tuttavia, c’è un problema: poiché la lampada non può disperdere il calore nell’aria, le sue estremità diventano incredibilmente calde. Se le guarnizioni non sono correttamente refrigerate, si potrebbero verificare perdite di liquido. È importante controllare attentamente tutto prima di accendere la lampada.
I piccoli dettagli Siamo molto attenti alla qualità della costruzione delle lampade: niente plastica economica, niente adesivi. Le connessioni tra i fili della lampada vengono realizzate utilizzando metalli ad alta purezza, in modo che non rimangano residui di fissaggio. Anche l’installazione deve essere precisa: dobbiamo assicurarci che non ci siano spazi vuoti, poiché le vibrazioni possono causare la formazione di particelle indesiderate. In questo modo si ottiene la densità di calore necessaria per mantenere il processo di produzione in funzione, senza preoccuparsi di una diminuzione della qualità dei prodotti. Ricordate: più watt viene fornito, più il sistema di raffreddamento deve lavorare sodo per evitare che il resto della camera diventi troppo caldo.