Hentikan Lampu IR dari Menghancurkan Wafer Anda
Jika Anda mengoperasikan lini produksi wafer dengan beban kerja yang tinggi, Anda pasti tahu betapa menyebalkannya situasi tersebut. Lampu IR bisa meledak kapan saja. Masalahnya bukan hanya soal waktu henti produksi saja, tetapi juga limbah yang dihasilkan. Ketika tabung kuarsa pecah, potongan-potongan kaca dan filamen tungsten akan jatuh ke atas wafer silikon. Dengan begitu, seluruh batch wafer menjadi tidak bisa digunakan lagi.
Kami telah meluangkan banyak waktu untuk merancang kontroler dan komponen lampu agar hal seperti ini tidak terjadi.
Mengatasi Stres Termal
Sebagian besar lampu gagal karena tekanan termal yang berlebihan. Lampu-lampu tersebut tidak mampu menahan perubahan suhu yang mendadak. Itulah sebabnya kami tidak menggunakan saklar on/off biasa. Kontroler digital kami mengatur proses peningkatan dan penurunan suhu secara hati-hati. Dengan memodulasi daya yang digunakan, kita dapat mencegah tabung kuarsa dari mengembang terlalu cepat sehingga pecah.
Kami menggunakan kuarsa berkualitas tinggi karena bahan ini lebih mampu menahan panas. Namun, hukum fisika tetap berlaku. Jika 2000W dialirkan melalui tabung yang pendek, ujung-ujung tabung akan menjadi sangat panas. Untuk mengatasinya, kami menambahkan pelindung di ujung tabung agar tekanan tidak terlalu besar.
Perlu diingat: pastikan kipas pendingin berfungsi sesuai dengan instruksi kontroler. Jika tidak, seal pada lampu akan rusak.
Mempertahankan Kebersihan
Untuk mencegah “polusi sekunder” atau debu yang menumpuk, kami memasang dinding pelindung antara lampu dan wafer. Semua komponen disimpan dalam sarung pelindung yang terbuat dari kuarsa atau stainless steel. Jika lampu meledak, sarung pelindung akan menangkap potongan-potongan kaca tersebut. Wafer pun tetap aman.
Kami juga memiliki sistem pemantauan yang efektif. Kontroler akan memantau resistansi lampu secara real-time. Jika terjadi peningkatan atau penurunan resistansi secara tiba-tiba—yang biasanya berarti filamen lampu telah patah—sistem akan segera mematikan pasokan listrik ke lampu tersebut. Dengan demikian, lampu-lampu lain tidak akan ikut meledak.
Kompromi yang Harus Diterima
Masalahnya adalah, penggunaan sarung pelindung tersebut akan mengurangi transmisi sinar IR sedikit. Anda mungkin perlu menaikkan setting daya agar proses pengeringan berjalan lancar. Namun, sebenarnya itu merupakan harga yang relatif kecil untuk dibayar. Saya lebih memilih menghabiskan beberapa detik tambahan demi menjaga kualitas wafer, daripada kehilangan wafer senilai $100.000 akibat lampu yang rusak.