Mengapa kita sangat memperhatikan integritas dielektrik pada pemanas trolley
Di ruang bersih untuk produksi semikonduktor, tidak ada yang namanya “kerusakan listrik kecil”. Semuanya merupakan hal yang sangat penting. Saat kita membuat pemanas trolley, mencapai suhu yang tepat hanyalah setengah dari tantangan yang harus dihadapi.
Tantangan sebenarnya adalah memastikan bahwa elemen pemanas tetap bekerja dengan baik secara listrik. Jika terjadi arus bocor, bukan hanya keselamatan yang terancam, tetapi kualitas wafer pun akan terganggu.
Mengapa kami menguji setiap tabung pemanas
Kami tidak melakukan pemeriksaan secara acak. Itu terlalu berisiko. Sebaliknya, setiap tabung pemanas harus menjalani tes tegangan tinggi dan tes resistansi isolasi sebelum bisa digunakan.
Alasannya adalah: retakan kecil pada permukaan keramik atau lubang kecil pada lapisan pelindung dapat menyebabkan arus listrik yang berlebihan. Arus listrik tersebut dapat merusak silikon. Dengan menguji resistansi isolasi, kami memastikan bahwa pemanas tidak akan menyebabkan arus bocor ke rangka trolley saat proses produksi berlangsung.
Masalah yang muncul dari bahan-bahan digunakan
Selalu ada kompromi yang harus diterima. Untuk menjaga resistansi isolasi tetap tinggi, kami menggunakan alumina berkualitas tinggi atau lapisan kuarsa khusus. Bahan-bahan ini bagus untuk tujuan keselamatan, tetapi sifatnya rapuh.
Harap berhati-hati saat memasangnya. Jika tim Anda memberikan tekanan mekanis yang berlebihan pada tabung tersebut, tabung tersebut bisa patah. Sayang sekali jika masalah yang ingin dihindari melalui pengujian justru terjadi.
Beberapa tips untuk proses pemasangan
Saat memasangnya, pastikan koneksi groundingnya benar-benar kuat. Meskipun isolasinya sempurna, densitas panas yang tinggi masih dapat merusak lapisan pelindung kabel seiring waktu. Kami merancang pemanas ini agar dapat bertahan dalam kondisi suhu yang ekstrem di ruang bersih, tetapi Anda perlu memastikan bahwa tegangan yang digunakan cocok dengan spesifikasi pemanas tersebut. Jika tidak, pemanas tersebut bisa rusak lebih cepat.