Di lantai produksi, fluktuasi suhu bukan sekadar penyimpangan biasa—hal tersebut justru merusak kualitas produk yang dihasilkan. Chamber sputtering yang tidak berada pada posisi yang tepat akan menyebabkan ketidakseragaman tekanan dan ketebalan lapisan film yang dihasilkan. Hal ini tentu akan mempengaruhi proses litografi dan pengikisan permukaan wafer. Kami menciptakan pemanas inframerah untuk menghilangkan ketidakpastian tersebut, sehingga stabilitas proses deposisi dapat terjaga dengan baik, tepatnya pada permukaan wafer.
Desain inframerah berfrekuensi rendah ini mampu memberikan panas secara cepat dan langsung ke wafer, sehingga ketidakseragaman suhu di permukaan wafer tetap berada dalam kisaran ±0,1°C. Struktur radiator kuarsa serta kontrol berbentuk loop tertutup membantu menjaga stabilitas suhu, sehingga ketebalan lapisan film tetap stabil tanpa adanya penyimpangan. Dalam proses pengolahan fotoresist, profil inframerah yang sama memungkinkan proses penghilangan pelarut yang konsisten, sehingga hasilnya lebih bersih dan akurat. Hal ini mengurangi risiko kesalahan pada hasil akhirnya.
Sistem ini dirancang untuk digunakan di ruang pembersih yang bersih. Badan pemanas bekerja tanpa menghasilkan partikel, sehingga cocok digunakan di lingkungan kelas 1–100. Bahan-bahan yang digunakan juga memiliki emisi gas yang rendah, sehingga menghindari kontaminasi selama proses sputtering berlangsung. Tidak adanya partikel di tepi wafer berarti jumlah produk yang rusak berkurang, sehingga biaya pemeliharaan pun berkurang. Dengan demikian, waktu proses menjadi lebih stabil, energi yang digunakan per wafer berkurang, dan kualitas lapisan film tetap konsisten dari satu batch ke batch lainnya.
Pemasangannya cukup mudah pada sebagian besar platform sputtering. Namun, ukuran sistem yang kompak ini membutuhkan penyesuaian terhadap jarak antara pelindung dan perangkat pendukung lainnya. Rencanakan integrasinya sejak awal, pastikan antarmuka pemasangan sesuai, dan pastikan jarak optiknya cukup sebelum melakukan perubahan proses produksi. Setelah dipasang, sistem ini dapat beroperasi 24/7 dengan fluktuasi yang minimal. Tingkat repetibilitas yang tinggi ini terlihat jelas dalam hasil pengukuran, sehingga kualitas produk tetap konsisten dari batch ke batch.