अपने क्लीनरूम को 100% स्वच्छ रखना
सेमीकंडक्टर निर्माण की दुनिया में, थोड़ी सी धूल या एक ही गैस अणु भी पूरे वेफर को बर्बाद कर सकता है। यह बहुत ही निराशाजनक है… आपने तो सब कुछ सही तरीके से किया है, लेकिन फिर भी एक छोटा सा कण ही सारी मेहनत को बर्बाद कर देता है।
अक्सर, इसका कारण हीटिंग तत्व होता है। सामान्य हीटर, कार्यरत तापमान पर पहुँचते ही गैसें उत्सर्जित करने लगते हैं। इसे रोकने हेतु, हम उच्च-शुद्धता वाली क्वार्ट्ज इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग करते हैं, एवं उनके साथ विशेष टेफलॉन (PTFE) इन्सुलेटेड तारों का उपयोग करते हैं।
उच्च-शुद्धता वाली क्वार्ट्ज का लाभ
हम इन लैंपों में सिंथेटिक क्वार्ट्ज का उपयोग करते हैं। यह सामान्य काँच से अलग है… यह अपने आसपास के वातावरण में कोई धात्विक अशुद्धियाँ नहीं छोड़ता, एवं गर्मी को सहन करने में भी कोई समस्या नहीं पैदा करता।
सबसे अच्छी बात यह है कि ये लैंप शॉर्टवेव इन्फ्रारेड विकिरण का उपयोग करते हैं… ये ऊर्जा को सीधे सब्सट्रेट तक पहुँचाते हैं, बिना आसपास की हवा को गर्म किए। ऐसा करने से फर्श पर मौजूद धूल ऊपर नहीं उठ पाती, जिससे प्रक्रिया में कोई बाधा नहीं आती।
टेफलॉन (PTFE) का महत्व
यदि आप अपने तारों पर PVC या सिलिकॉन का उपयोग करते हैं, तो इन्फ्रारेड लैंप की तीव्र गर्मी के कारण वे नष्ट हो जाएँगे… ऐसी स्थिति में अदृश्य रसायन वायुमंडल में छोड़े जाएँगे।
इसीलिए हम PTFE-लेपित तारों का ही उपयोग करते हैं… ये रासायनिक रूप से स्थिर रहते हैं… ये न तो पिघलते हैं, न ही कोई गंध छोड़ते हैं, एवं न ही वायुमंडल में कोई वोलेटाइल ऑर्गेनिक कंपाउंड छोड़ते हैं।
सब कुछ ठीक से लगाना आवश्यक है
इन लैंपों को सेमीकंडक्टर हीटर में लगाना बहुत ही कठिन है… इसलिए तारों को कहाँ लगाना है, इस बारे में सावधान रहना आवश्यक है।
ध्यान रखें: टेफलॉन तो मजबूत है, लेकिन अजेय नहीं है… यदि आप तारों को इन्फ्रारेड किरणों की दिशा में या क्वार्ट्ज आवरण के बहुत करीब लगाते हैं, तो इन्सुलेशन धीरे-धीरे नष्ट हो जाएगा… यह धीमी गति से होता है, लेकिन होता ही है।
मैं हमेशा ताप-संरक्षक या अतिरिक्त दूरी का उपयोग करने की सलाह देता हूँ… ताकि तारों का तापमान 260°C से कम रहे। साथ ही, अपनी हवा-प्रवाह प्रणाली की भी जाँच करें… यदि आपकी शीतलन प्रणाली विद्युत टर्मिनलों से गर्मी को दूर नहीं कर पा रही है, तो इन्सुलेशन समय के साथ नष्ट हो जाएगा।
यदि हवा-प्रवाह सही रहे, तो ये लैंप बिना किसी समस्या के काम करेंगे… कोई कण नहीं, कोई समस्या नहीं।