फैब फ्लोर पर, तापीय विचलन केवल छोटी-मोटी त्रुटियाँ ही नहीं होतीं… बल्कि ये उत्पादन दक्षता को नष्ट करने वाले कारक हैं। यदि स्पटरिंग चैंबर में थोड़ा सा भी विचलन हो जाए, तो इससे फिल्म में तनाव एवं मोटाई में असमानता पैदा हो जाती है… और यही समस्या लिथोग्राफी एवं इट्चिंग प्रक्रियाओं में भी देखने को मिलती है। हमने अपने इन्फ्रारेड स्पटरिंग हीटरों को ऐसे ही डिज़ाइन किया है, ताकि ऐसी अनिश्चितताओं को दूर किया जा सके… एवं फिल्म की मोटाई को सही स्तर पर ही बनाए रखा जा सके… यानी वेफर की सतह पर ही।
हमारे शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड हीटर, वेफर पर तेज़ एवं सीधी गर्मी पहुँचाते हैं… जिससे वेफर की मोटाई ±0.1°C के भीतर ही रहती है। क्वार्ट्ज रेडिएटर एवं क्लोज्ड-लूप नियंत्रण प्रणाली के कारण तापीय स्थिरता बनी रहती है… जिससे वेफर की मोटाई सही स्तर पर ही रहती है। फोटोरेजिस्ट प्रसंस्करण में, यही इन्फ्रारेड प्रणाली प्री-बेक प्रक्रिया में घुलनशील पदार्थों को हटाने में मदद करती है… एवं साफ एवं सुसंगत परिणाम देती है… जिससे बाद में CD त्रुटियाँ कम हो जाती हैं।
यह प्रणाली क्लीनरूम में उपयोग के लिए भी उपयुक्त है। हीटर बॉडी, क्लास 1–100 में कोई कण न छोड़ती है… एवं कम-गैस उत्सर्जन वाली सामग्रियों के कारण लंबे समय तक संचालन के दौरान भी संदूषण नहीं होता। वेफर के किनारों पर कोई कण ही न होने के कारण अस्वीकृत उत्पादों की संख्या कम हो जाती है… एवं रखरखाव की आवश्यकता भी कम हो जाती है। इस प्रकार, उत्पादन प्रक्रिया में स्थिरता बनी रहती है… प्रति वेफर ऊर्जा की खपत कम हो जाती है… एवं फिल्म के गुण भी हर बार समान ही रहते हैं।
अधिकांश स्पटरिंग प्लेटफॉर्मों पर इसकी स्थापना आसान है… लेकिन इसका छोटा आकार शील्ड एवं फिक्स्चरों के आसपास की जगह को सीमित कर देता है। इसलिए, इंटीग्रेशन की प्रक्रिया को पहले ही योजनाबद्ध तरीके से करना आवश्यक है… माउंटिंग इंटरफेस को ठीक से चुनना एवं ऑप्टिकल पाथ की जगह की जाँच करना आवश्यक है। एक बार यह सिस्टम स्थापित हो जाने के बाद, यह 24/7 काम करता रहता है… एवं डेटाशीट में दी गई जानकारी के अनुसार ही परिणाम मिलते हैं… यानी हर बार समान ही परिणाम मिलते हैं।