
अपने ओवन का इंतज़ार करना बंद करें: UHP इन्फ्रारेड लैंप क्यों कारगर हैं?
लंबे समय तक, हम यही मानते रहे कि वेफरों को गर्म करने हेतु गर्म हवा का उपयोग आवश्यक है। लेकिन समस्या यह है कि ऐसी प्रक्रिया में बहुत समय लगता है। आपको पहले हवा के गर्म होने का इंतज़ार करना होता है, फिर उस गर्म हवा के द्वारा वेफरों को गर्म करने का इंतज़ार करना होता है। यह बहुत ही समय-खर्चीली प्रक्रिया है।
इसी कारण हमने यूल्ट्रा हाई प्योरिटी (UHP) इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग शुरू किया। ऐसे लैंपों में हवा का उपयोग नहीं किया जाता, बल्कि सीधे ही ऊष्मा प्रदान की जाती है।
इसे ठंडे दिनों में सूर्य की किरणों के समान ही समझ सकते हैं। आपको पूरे वातावरण के गर्म होने की आवश्यकता नहीं है; किरणें सीधे ही आपकी त्वचा पर पड़ती हैं। यही बात यहाँ भी लागू होती है। जबकि कन्वेक्शन ओवन में तापमान स्थिर करने में कई मिनट लग जाते हैं, UHP लैंप में यह काम कुछ ही सेकंड में हो जाता है। जब आप अधिक वेफरों को तेज़ी से गर्म करना चाहते हैं, तो यह समय-बचत बहुत ही महत्वपूर्ण हो जाती है।
लेकिन आप कोई भी लैंप वहाँ इस्तेमाल नहीं कर सकते।
“आउटगैसिंग” एक बड़ी समस्या है। थोड़ी सी धात्विक गंदगी ही सिलिकॉन को नष्ट कर सकती है। इसे रोकने हेतु हम उच्च-शुद्धता वाले सिंथेटिक क्वार्ट्ज उपयोग में लाते हैं। हम फिलामेंटों पर भी बहुत ध्यान देते हैं। यदि वॉटेज सही न हो, तो गर्म बिंदु बन जाते हैं, और ये ही खराब उत्पादों का कारण बनते हैं।
लेकिन यहाँ भी संतुलन आवश्यक है। निश्चित रूप से, अधिक वॉटेज से तेज़ गर्मी प्राप्त होती है। लेकिन यदि आप बिना उचित व्यवस्था के अधिक वॉटेज का उपयोग करें, तो समस्याएँ हो सकती हैं। क्वार्ट्ज ट्यूब टूट सकती है, या सब्सट्रेट विकृत हो सकता है। यह तो गति एवं दबाव के बीच का एक संतुलन ही है।
बदलाव की वास्तविकता:
यदि आप हॉट एयर ओवन के बजाय IR ओवन का उपयोग करना चाहते हैं, तो ध्यान रखें कि यह कोई आसान काम नहीं है। आपको अपने PID कंट्रोलरों में समायोजन करना होगा। चूँकि IR लैंप तुरंत ही प्रतिक्रिया देते हैं, इसलिए आपको अधिक सटीक समायोजन करने होंगे। यदि आप सावधान न रहें, तो सिस्टम को तापमान स्थिर करने में ही समय लग जाएगा।
और ठंडक की व्यवस्था भी आवश्यक है। सभी विकिरण ऊर्जा वेफर पर नहीं पड़ती… कुछ ऊर्जा वापस चली जाती है। यदि आपकी ठंडक व्यवस्था सही न हो, तो आपके मशीन के घटक ही नष्ट हो सकते हैं।
इसके लिए थोड़ी व्यवस्था आवश्यक है… लेकिन एक बार यह व्यवस्था ठीक हो जाए, तो यह एक बेहतरीन अनुभव होगा।