
श्रैपनेल को रोकें: जब आईआर हीटर खराब हो जाते हैं, तब अपने वेफरों को स्वच्छ रखना आवश्यक है।
उच्च मात्रा में अर्धचालक उत्पादन होने वाले संयंत्रों में, इंफ्रारेड लैंपों के खराब होने से न केवल रखरखाव में परेशानी होती है, बल्कि यह एक बड़ी समस्या भी बन जाती है।
यदि क्वार्ट्ज ट्यूब टूट जाती है, तो वेफरों की सतह पर छोटे-छोटे काँच के टुकड़े एवं धातु के कण गिर जाते हैं… ऐसी स्थिति में वेफर बेकार हो जाते हैं। हमने इस समस्या को दूर करने हेतु बहुत समय लगाया।
सुरक्षा उपाय
हम केवल क्वार्ट्ज ट्यूब पर ही भरोसा नहीं करते… बल्कि हीटर को एक द्वितीयक सुरक्षा कवर में लपेट देते हैं। इसे एक उच्च-शुद्धता वाली “क्वार्ट्ज ढाल” के रूप में ही समझें।
यदि आंतरिक घटक दबाव के कारण टूट जाता है, तो यह कवर सभी कचरे को रोक लेता है… इससे वैक्यूम स्वच्छ रहता है, एवं आपको अगले तीन दिनों तक चेंबर की सफाई करने की आवश्यकता नहीं पड़ती।
ऊष्मा से निपटना
उच्च-वॉटेज वाले लैंप बहुत गर्म हो जाते हैं… यदि काँच पर अत्यधिक दबाव पड़े, तो वह टूट जाता है। इस समस्या से निपटने हेतु हम मोटी दीवार वाले क्वार्ट्ज का उपयोग करते हैं… ऐसा क्वार्ट्ज तेज ऊष्मा के कारण भी टूटता नहीं है।
हम विद्युत कनेक्शनों पर भी ध्यान देते हैं… क्योंकि ढीले कनेक्शनों के कारण गर्म बिंदु बन जाते हैं… ऐसे गर्म बिंदुओं के कारण ही लैंप जल्दी ही टूट जाते हैं। यह तो एक छोटी सी बात है… लेकिन यही बात ही लैंप के टिकने/टूटने में अंतर पैदा करती है।
वास्तविक समझौता
अब, यहाँ एक समस्या है… ऐसा सुरक्षा कवर लगाने से इंफ्रारेड प्रकाश की मात्रा में थोड़ी कमी आ जाती है… ऐसी स्थिति में आपको लक्षित तापमान प्राप्त करने हेतु ऊर्जा की मात्रा में वृद्धि करनी होगी। लेकिन ईमानदारी से कहें तो, यह तो वेफरों को बर्बाद होने से बचाने हेतु एक छोटी सी कीमत है।
चीजों को सुचारू रखना
स्थापना के समय, हम मानकीकृत कनेक्टरों का उपयोग करते हैं… ताकि सब कुछ ठीक रहे। यदि लैंप ढीला रहे, तो उच्च भार के कारण वह कंपन करने लगेगा… ऐसी स्थिति में लैंप जल्दी ही टूट जाएगा। हवा के प्रवाह को ठीक रखें… ताकि क्वार्ट्ज लंबे समय तक ठीक रहे।