अपनी मशीनों को गर्म करने की पुरानी विधियों को छोड़ दें… वेफरों को गर्म करने का बेहतर तरीका!
सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण में सबसे बड़ी समस्या यह है कि वेफरों को गर्म करना आवश्यक है, लेकिन इस प्रक्रिया में मशीनों के अन्य हिस्से पिघल न जाएँ। अधिकांश सामान्य हीटर, ऊष्मा को हर दिशा में फैला देते हैं… ऐसे में “अतिरिक्त ऊष्मा” मशीनों की दीवारों में चली जाती है, जिससे मशीनें खतरनाक रूप से गर्म हो जाती हैं… और इससे मशीनों के संवेदनशील हिस्से भी क्षतिग्रस्त हो जाते हैं… यह तो बिल्कुल भी अच्छा नहीं है। दिशात्मक ऊष्मा उत्पन्न करने का तरीका हम इस समस्या को छोटी-तरंगदैर्घ्य वाली इन्फ्रारेड लैंपों के द्वारा हल करते हैं… ऐसी लैंपें ऊष्मा को हर दिशा में न फैलाकर, सीधे वेफर पर ही भेजती हैं। इसके लिए हम विशेष प्रकार के रिफ्लेक्टरों एवं क्वार्ट्ज आवरण पर विशेष प्रकार की परतों का उपयोग करते हैं… ऐसा करने से ऊष्मा सीधे वेफर पर ही पड़ती है… इससे मशीनों की दीवारों में ऊष्मा नहीं जाती… जिससे मशीनें सुरक्षित रहती हैं। दूरी का निर्धारण अब, आप इन्फ्रारेड लैंप को सीधे वेफर के ऊपर रख नहीं सकते… ऐसा करने से वेफर की सतह जल सकती है… दूरी का ध्यान रखना आवश्यक है… यदि लैंप बहुत नजदीक हो, तो ऊष्मा समान रूप से नहीं फैलेगी… और यदि लैंप बहुत दूर हो, तो ऊष्मा वेफर के आसपास की हवा को ही गर्म करेगी… हम आमतौर पर तापमान बढ़ने की गति एवं ऊष्मा के समान वितरण के बीच संतुलन बनाने में बहुत समय व्यतीत करते हैं। ध्यान रखें… यदि आप गति बढ़ाने हेतु लैंप की शक्ति बढ़ा दें, तो आपको दूरी को बढ़ाना होगा… या फिर मशीनों की दीवारों पर ठंडक पैदा करने हेतु अतिरिक्त उपाय करने होंगे। त्याग/जोखिम कुछ भी मुफ्त में नहीं मिलता… दिशात्मक ऊष्मा उत्पन्न करने से मशीनों की दीवारें सुरक्षित रहती हैं… लेकिन इससे लैंप के आंतरिक भागों पर बहुत अधिक दबाव पड़ता है… चूँकि ऊष्मा बहुत ही केंद्रित रूप से उत्पन्न होती है, इसलिए लैंप भी बहुत गर्म हो जाता है… आपको अपने वायरिंग सिस्टम का ध्यान रखना होगा… सुनिश्चित करें कि आपके कनेक्टर आवश्यक धारा को सहन कर सकें… वरना लैंप के कनेक्टर पिघल जाएँगे… और अपने कूलिंग फैनों पर भी ध्यान दें… यदि वे काम न करें, तो तीव्र ऊष्मा से लैंप क्षतिग्रस्त हो सकता है।