सही तापमान प्राप्त करना: बेहतर वेफर क्यूरिंग हेतु रहस्य
जब सेमीकंडक्टर वेफरों को क्यूर किया जाता है, तो उद्देश्य बहुत ही सरल होता है – आवश्यक स्थान पर ही उचित तापमान पहुँचाना, ताकि सब्सट्रेट को कोई नुकसान न पहुँचे। हम इन्फ्रारेड (IR) तकनीक का ही उपयोग करते हैं। क्यों? क्योंकि यह एक स्वच्छ तकनीक है… इसमें कोई विलायक नहीं होता, और यह पर्यावरण-अनुकूल, लीड-रहित मानकों के अनुरूप भी है। लेकिन वास्तव में, लैंप ही सारा श्रेय पाता है… जबकि वास्तविक काम तो रिफ्लेक्टर ही करता है।
अपनी ऊर्जा को बर्बाद मत करें
इन्फ्रारेड लैंप से ऊर्जा हर दिशा में फैलती है। यदि ऐसे ही छोड़ दिया जाए, तो आधी ऊर्जा मशीन के आवरण पर ही खर्च हो जाती है… यह तो बस पैसों एवं बिजली की बर्बादी ही है। इसीलिए हम उच्च-शुद्धता वाले एल्यूमीनियम या सोने से ढके रिफ्लेक्टरों का ही उपयोग करते हैं… ये वह ऊर्जा पकड़कर उसे वापस वेफर पर ही भेजते हैं… इससे तापमान और भी अधिक बढ़ जाता है… ऐसे में क्यूरिंग की प्रक्रिया तेज हो जाती है, एवं बिजली की खपत भी कम रहती है… बस इतना ही।
सही सामग्री का चयन
तरंगदैर्घ्य के आधार पर, हम आमतौर पर एनोडाइज्ड एल्यूमीनियम या पॉलिश्ड स्टेनलेस स्टील का ही उपयोग करते हैं। यदि आप शॉर्टवेव इन्फ्रारेड तकनीक का उपयोग कर रहे हैं, तो ऐसी सतह की आवश्यकता है जो लगभग सारी ऊर्जा को ही परावर्तित कर सके… यदि सामग्री सही न हो, तो रिफ्लेक्टर ही उस ऊर्जा को अपने अंदर ही सोख लेगा… ऐसे में धातु विकृत हो जाती है, फोकल बिंदु भी बदल जाता है… और वेफर पर “हॉट स्पॉट” बन जाते हैं… एक मिनट में तो क्यूरिंग हो रही होती है… अगले ही मिनट में चिप नष्ट हो जाती है।
वे छोटी-छोटी बातें जो महत्वपूर्ण हैं
ऐसी प्रणालियों को सेट करना थोड़ा कठिन है… लैंप एवं रिफ्लेक्टर के बीच का संरेखण बिल्कुल सही होना आवश्यक है… वास्तव में, सिर्फ 1 मिमी का अंतर ही दक्षता को 10% तक कम कर सकता है… और “हीट सोक” को भी नजरअंदाज नहीं किया जा सकता… इन्फ्रारेड तकनीक तो स्वच्छ है… लेकिन यह बहुत ही तीव्र ऊर्जा उत्पन्न करती है… यदि चेसिस में उस ऊर्जा को दूर करने की कोई व्यवस्था न हो, तो आसपास के इलेक्ट्रॉनिक उपकरण नष्ट हो जाएंगे… यह तो एक संतुलन की बात है… हम ऐसे रिफ्लेक्टरों को “ड्रॉप-इन” रिप्लेसमेंट के रूप में ही बनाते हैं… आपको अपने पूरे ओवन को हटाने या लेआउट को फिर से डिज़ाइन करने की कोई आवश्यकता नहीं है… आप बस उन्हें बदल दें, अपने हरित ऊर्जा लक्ष्यों को पूरा करें, एवं अपनी उत्पादन प्रक्रिया को जारी रखें।