בחדרי הייצור, סטיות תרמיות אינן רק בעיות של דיוק – הן גם גורמות לירידה באיכות המוצר. תא ספטרינג שמסטה אפילו במעט מהמסלול הנכון יוצר לחץ על השכבה שנוצרת, וגורם לחוסר אחידות בעובי השכבה. דבר זה משפיע ישירות על תהליכי הליתוגרפיה והחריטה. ייצרנו את החיממים באמצעות אינפרא-אדום, כדי להסיר את אי-הוודאות הזו, ולשמור על יציבות ההתקנה דווקא במקום החשוב ביותר – על פני הוואפר.
העיצוב שלנו מאפשר העברת חום מהירה וישירה לוואפר, ושומר על אחידות בעובי השכבה ברמה של ±0.1°C. גאומטריית הרדיאטורים מסוג קוורץ והבקרה האוטומטית שומרים על יציבות תרמית, כך שניתן להשיג את העובי הרצוי ללא סטיות. בתהליך העיבוד של הפוטורזיסט, אותו עיצוב מאפשר הסרה עקבית של החומרים, וכך נמנעים בעיות שעלולות להופיע לאחר מכן.
המערכת מתאימה לשימוש בחדרי ייצור נקיים. גוף החימום פועל ללא חלקיקים בסביבה של קטגוריה 1–100, והחומרים בעלי רמת פליטה נמוכה מונעים זיהום במהלך תהליכי הספטרינג הארוכים. אין ייצור של חלקיקים בקצווי הוואפר, מה שמפחית את מספר המוצרים הפגומים ואת הצורך בתחזוקה. כתוצאה מכך, זמני העיבוד יציבים, צריכת האנרגיה לכל ואפר נמוכה, ותכונות השכבה נשארות אחידות מלאסקה לאסקה.
ההתקנה פשוטה ברוב פלטפורמות הספטרינג, אך הממדים הקטנים של המערכת מחייבים תכנון קפדני של המרווחים סביב המערכת. יש לתכנן את ההתקנה מראש – להתאים את יציאות החיבור ולוודא שיש מספיק מרווח במסלול האופטי, לפני שמבצעים את ההחלפה. לאחר ההתקנה, המערכת פועלת 24/7 עם מינימום סטיות, והאחידות שנראית בנתונים הטכניים מתקיימת גם בפועל, מלאסקה לאסקה.