בחדר הייצור, שינוי של 0.5°C בטמפרטורה במהלך תהליך האפייה של הפוטורזיסט עלול לגרום לשינויים ברוחב הקווים ולהרס גדול של המוצרים. הטמפרטורה אינה רק משתנה נוסף – היא למעשה חלק בלתי נפרד מהתהליך. לכן אנו מעצבים את מכשירי החימום שלנו בהתאם לדרישות אלו, כך שהטמפרטורה תישמר ברמה של ±0.1°C במהלך כל שלבי התהליך.
מה חשוב באמת? אנו משתמשים ברכיבי אינפרא-אדום בעלי גלים קצרים, יחד עם חלונות קוורץ וחומרים קרמיים בעלי פליטה נמוכה. דבר זה מאפשר חיבור תרמי ישיר, ערך של פליטת חום יציב, ושליטה מדויקת בטמפרטורה. נקודות השליטה נשמרות אותו דבר בכל סדרת ייצור. המכשירים מתאימים לחדרי ייצור מסוג Class 1–100, עם חיבורים אטומים ועיצוב שמונע יצירת חלקיקים. כל מכשיר ניתן לאתר לפי מספר סידורי, ויש לו נתוני כיול ורשומות של בדיקות, כך שניתן להחליף אותו בלי צורך בבדיקות נוספות.
למה זה עובד בתהליך הליתוגרפיה? מכשירי החימום האלו נוצרו בהתאם לדרישות של תהליך הליתוגרפיה ועיבוד הפוטורזיסט. הם מאפשרים שמירה על טמפרטורה קבועה, מונעים תופעות של קרום על פני השטח של הוואפרים, ומקטינים את הצורך בעבודה חוזרת. בייצור, זה אומר יותר ואפרים שיוצאים מהמפעל, ופחות פסולת.
צריכת האנרגיה יורדת, מכיוון שהתגובה התרמית יעילה ומעגל השליטה יציב. האמינות של המכשירים גם היא גבוהה – העיצוב שלהם מאפשר עמידה בפני שינויי טמפרטורה חוזרים.
כמה הערות מעשיות חשוב להתאים את מכשיר החימום לציוד שבו הוא נמצא. לפני החלפת המכשיר, יש לוודא את גאומטריית ההתקנה, גודל הפתחים וסוג החיבורים. יש לוודא שהבקר שלכם יכול להתמודד עם ההתנגדות של הרכיב ועם הזמן הדרוש לחימום.
אוויר בעל לחות גבוהה וחומרים מסיסים עלולים לגרום לקורוזיה של המכשיר. אם אתם משתמשים בשיטות ניקוי לחות, יש לבחור ציפויי הגנה מתאימים ולקבוע תדירויות בדיקה. יש לראות במכשיר רכיב מדויק, ולא חומר שניתן להחליף בקלות. כך תוכלו לקבל ביצועים עקביים בכל פעם שתחליפו את המכשיר.