ייבוש שבבי MEMS ללא פגיעה בהם
ייבוש שבבי החיישנים של MEMS הוא משימה מורכבת. יש צורך להוציא את המים מהשבבים במהירות, אך אם עושים זאת באופן חזק מדי, עלולות להינזק המבנים העדינים של השבבים.
כדי להשיג את האיזון הנכון, אנו משתמשים בחיממים באור אינפרא-אדום, בשילוב עם מחזירי אור מצופים בזהב. המטרה ברורה: לא לבזבז אנרגיה, ולוודא שכל פוטון פוגע בשבב.
למה זהב?
רוב האנשים בוחרים במחזירי אור מאלומיניום, אך יש בעיה: אלומיניום סופג הרבה אנרגיה אינפרא-אדומה. אנו בוחרים בזהב בגלל יעילותו הגבוהה בהחזרת אור אינפרא-אדום למקורו.
זה לא קשור רק להחזרת האור – על ידי שילוב שכבת זהב עם עקומה פרבולית מדויקת, ניתן “לכוון” את החום לשבב. כך נוצר קרן אנרגיה מרוכזת שפוגעת בשבב, וכך אין צורך להגדיל את המתח במנורות כדי להשיג את התוצאה הרצויה. זו דרך יעילה יותר.
איזון בין אנרגיה לחום
כשמגדירים את המערכת, יש צורך למצוא איזון בין מהירות לבין בטיחות.
ברור שמנורות בעלות הספק גבוה טובות לתפעול של קווי ייצור בעלי קצב גבוה. אך הן יוצרות כמות אדירה של חום. אם מערכת הקירור של המכשיר אינה יעילה, החום נשאר במקומו. כך, הטמפרטורה עלולה לעלות, וזה עלול לגרום לפגיעה בשבבים. זו בעיה שאף אחד לא רוצה.
שמירה על תפקוד המערכת
בנינו את המערכות האלו כך שניתן יהיה להחליף אותן במהירות. אף אחד לא רוצה שהקווים יהיו תקועים מספר שעות.
המחזירים מותקנים בצורה מדויקת לאורך ציר המנורה, כך שלא יהיו “נקודות קרות” על פני השבב. עם זאת, חשוב לזכור שזהב הוא חומר רגיש – אם במקום יש גזים מקורוזיביים, הציפויים עלולים להיהרס. יש להגן עליהם או לעקוב אחריהם בקפידה. ובבקשה, היזהרו בעת הניקיון – השתמשו בחומרי ניקוי מתאימים. ניקוי לא נכון עלול לגרום לשריטות על פני השבב, ואז היעילות של המערכת תיפגע.