Arrêtez que vos lampes infrarouges ne détruisent vos wafers
Si vous gérez une ligne de production avec un fort volume de wafers, vous connaissez bien ce cauchemar : une lampe infrarouge éclate. Ce n’est pas seulement le temps d’arrêt qui est problématique – c’est aussi le désordre causé par les morceaux de verre et les filaments de tungstène qui tombent directement sur les wafers en silicium. Un simple éclat suffit pour que toute la production soit gâchée.
Nous avons passé beaucoup de temps à concevoir nos contrôleurs et nos modules de lampes afin d’éviter que cela ne se produise.
Gérer les contraintes thermiques
La plupart des lampes échouent à cause des chocs thermiques. Elles ne peuvent pas supporter une augmentation soudaine de Température. C’est pourquoi nous ne utilisons pas de simple interrupteur On/Off. Nos contrôleurs numériques gèrent soigneusement les phases d’augmentation et de diminution de la puissance. En modulant la puissance, nous évitons que le quartz ne s’étende trop rapidement et ne se brise sous la pression.
Nous utilisons du quartz fusionné de haute pureté, car il résiste mieux à la chaleur. Mais la physique reste la physique : si l’on applique 2000 watts à un tube court, ses extrémités vont se réchauffer excessivement. Pour y remédier, nous avons ajouté des étuis renforcés aux extrémités du tube, afin de répartir les contraintes.
Un conseil : assurez-vous que vos ventilateurs de refroidissement soient synchronisés avec la sortie du contrôleur. Sinon, vos joints risquent de se détériorer.
Maintenir tout propre
Pour éviter la « pollution secondaire » (ou simplement les débris), nous plaçons un obstacle physique entre la lampe et les wafers. Tout est protégé par un étui en quartz ou en acier inoxydable. Si une lampe éclate, l’étui empêche les morceaux de verre de toucher les wafers.
De plus, nous avons mis en place un système de surveillance pour détecter d’éventuels problèmes. Le contrôleur surveille en temps réel la résistance de la lampe. S’il détecte une augmentation ou une baisse brutale de cette résistance – ce qui indique généralement que un filament s’est cassé – le système coupe immédiatement l’alimentation de cette zone. Ainsi, les autres lampes ne risquent pas de tomber en panne à cause d’une réaction en chaîne.
Le compromis
Le problème, c’est que ces étuis de protection limitent légèrement la transmission des rayons infrarouges. Vous devrez probablement augmenter légèrement les paramètres de puissance pour que les cycles de séchage fonctionnent correctement. Mais honnêtement, c’est un petit prix à payer. Je préfère prendre quelques secondes de plus pour terminer un cycle, plutôt que de perdre une série de wafers d’une valeur de 100 000 dollars à cause d’une ampoule brisée.