Comment éviter que vos lampes infrarouges revêtues d’or ne tomber en panne (et ainsi protéger vos wafer)
Lorsque vous travaillez dans une usine de semi-conducteurs, vous avez besoin de chaleur – et cette chaleur doit être précise. C’est là que nos lampes infrarouges à ondes courtes revêtues d’or entrent en jeu. Nous utilisons une fine couche d’or pour renvoyer autant d’énergie thermique que possible vers le wafer, plutôt que de la laisser s’échapper dans la chambre de traitement.
Pourquoi l’or ?
Ce n’est pas pour donner un aspect luxueux à la lampe. C’est une question de physique. La couche d’or permet de modifier la manière dont le tube en quartz émet de la chaleur, en la dirigeant vers les bandes infrarouges que vos matériaux peuvent absorber. Ainsi, vous atteignez plus rapidement les températures désirées. Nous utilisons du quartz de haute pureté pour ces tubes, car la densité thermique est si élevée que tout autre matériau finirait par se déformer.
Le cauchemar des fuites électriques
Le problème, c’est qu’en environnement de semi-conducteurs, une petite fuite électrique peut détruire toute une série de wafer. C’est une perte enorme de temps et d’argent. C’est pourquoi nous ne prenons aucun risque : nous soumettons chaque lampe à des tests de résistance aux tensions et à des tests d’isolation avant même qu’elle ne quitte notre usine. En fait, nous soumettons le circuit électrique à de hautes tensions pour vérifier si l’isolation tient bon. Si une lampe tombe en panne, elle est immédiatement jetée. Nous préférons jeter une lampe plutôt que de risquer des arcs électriques ou des courts-circuits une fois que la lampe est connectée à l’alimentation électrique.
Les compromis auxquels vous devez être attentif
Ces lampes génèrent beaucoup de chaleur. Il est donc essentiel que vos systèmes de refroidissement soient efficaces. Si le flux d’air est insuffisant, la lampe commence à surchauffer ses propres électrodes. Cela peut endommager rapidement le filament et raccourcir la durée de vie de la lampe. Nous accordons également beaucoup d’attention à l’écart entre le chauffage et le châssis équipé d’une masse de terre. Nous maintenons ces tolerances très strictes afin d’éviter toute capacité parasitaire. Cela semble technique, mais cela signifie simplement que vous disposez d’une source de chaleur stable qui ne perturbera pas les lectures des capteurs. Aucun problème possible. Juste une chaleur stable et fiable.