Pourquoi nous abandonnons l’air chaud au profit des ondes infrarouges pour le séchage des semi-conducteurs
Si vous avez déjà travaillé dans une usine de fabrication de semi-conducteurs, vous connaissez les difficultés liées au séchage après le rinçage. Pendant longtemps, on s’est contenté d’utiliser de l’air chaud pour ce processus. Mais soyons honnêtes : c’est lent. Il faut attendre que l’air transporte la chaleur, ce qui prend énormément de temps et gaspille du temps précieux.
C’est pourquoi nous avons opté pour les ondes infrarouges. Au lieu d’attendre que l’air fasse le travail, les rayonnements infrarouges agissent directement sur la surface de la puce. C’est une approche complètement différente.
Gagner du temps
Les systèmes utilisant de l’air chaud sont encombrants. Ils prennent beaucoup trop de place dans la salle propre et obligent les puces à rester là pendant très longtemps, afin d’assurer que toute l’eau ait disparu, sans pour autant éviter les marques causées par la tension superficielle de l’eau.
Nous utilisons des lampes infrarouges étanches pour éviter cet attente. Comme l’énergie traverse directement le liquide et chauffe immédiatement le substrat, un cycle de séchage qui prenait des minutes peut maintenant être accompli en quelques secondes. Le nombre de puces que l’on peut traiter par heure augmente, et il n’est pas nécessaire de démolir des murs pour faire de la place aux équipements supplémentaires.
Conçu pour les environnements humides
Le problème, c’est que les lampes infrarouges classiques ne supportent pas l’eau. Si on les place dans un environnement à haute humidité ou si on les arrose d’un peu d’eau, elles se détériorent rapidement.
Pour résoudre ce problème, nous utilisons des enveloppes en quartz spéciales et des joints étanches. Ces lampes sont conçues pour résister aux conditions difficiles : elles peuvent supporter l’humidité constante et les chocs thermiques sans se détériorer. Ainsi, on obtient une transmission directe de chaleur, et le système reste fiable même dans des conditions difficiles.
La partie difficile
Ce n’est pas tout à fait magique. Les ondes infrarouges génèrent beaucoup de chaleur en une petite zone, ce qui signifie qu’il faut gérer cette chaleur rapidement. Si les systèmes de refroidissement ne fonctionnent pas correctement, cela peut provoquer des problèmes : les bords de la puce peuvent surchauffer, ou les capteurs peuvent être endommagés. Il s’agit donc de trouver un équilibre : il faut suffisamment de puissance pour sécher rapidement l’eau, mais pas assez pour créer des points chauds.
Mais une fois cet équilibre trouvé, tout devient simple. On remplace les grands ventilateurs bruyants par des arrays infrarouges compacts. Tout s’intègre parfaitement. En fin de compte, il s’agit simplement de faire en sorte que la puce soit séchée le plus rapidement possible.