http://ir-heat-ace.com/zh/tags/%E7%9C%9F%E7%A9%BA/ Recent content in 真空 on Premium Infrared Heat Ace Hugo zh Fri, 10 Jul 2026 12:22:42 +0800 http://ir-heat-ace.com/zh/posts/vacuum-compatible-infrared-heater/ Fri, 10 Jul 2026 12:22:42 +0800 http://ir-heat-ace.com/zh/posts/vacuum-compatible-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heat-ace.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="与真空环境相容的红外加热器"></p> <p>在洁净室中减少碳排放：为何真空红外加热法如此有效<br> 说实话，半导体制造过程非常耗能。为了防止材料氧化或受到污染，必须要在真空环境中进行操作，而这无疑给温度控制带来了巨大挑战。<br> 大多数人采用电阻式加热方式。但问题在于，为了将晶圆加热到所需温度，不得不对整个腔体进行加热。这就好比为了加热一片披萨而把家里的所有的加热器都打开一样，实在是一种浪费。<br> 我们则采用不同的方法——使用与真空环境兼容的红外灯来直接加热晶圆。这样既不会产生不必要的热量，也不会加热空气，从而大大降低洁净室的碳排放。</p>