http://ir-heat-ace.com/zh/tags/%E5%BE%AE%E6%9C%BA%E7%94%B5%E7%B3%BB%E7%BB%9F/ Recent content in 微机电系统 on Premium Infrared Heat Ace Hugo zh Sat, 25 Jul 2026 05:01:40 +0800 http://ir-heat-ace.com/zh/posts/maximizing-radiant-flux-in-mems-wafer-drying-via-gold-coated-reflectors/ Sat, 25 Jul 2026 05:01:40 +0800 http://ir-heat-ace.com/zh/posts/maximizing-radiant-flux-in-mems-wafer-drying-via-gold-coated-reflectors/ <p><img src="http://ir-heat-ace.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="MEMS传感器晶圆干燥加热器"></p> <p>如何让MEMS晶圆在干燥过程中不受损？<br> 干燥MEMS传感器晶圆其实是一项极具挑战性的工作。需要尽快去除水分，但若操作过于粗暴，就会破坏那些脆弱的微结构。<br> 为了解决这个问题，我们采用了红外加热器，并搭配镀金反射器。其目的很明确：避免能量浪费，确保每一束光子都能准确照射到晶圆上。</p>