http://ir-heat-ace.com/zh/tags/%E5%85%89%E9%98%BB%E5%89%82/ Recent content in 光阻剂 on Premium Infrared Heat Ace Hugo zh Tue, 23 Jun 2026 00:38:46 +0800 http://ir-heat-ace.com/zh/posts/photoresist-curing-infrared-lamp/ Tue, 23 Jun 2026 00:38:46 +0800 http://ir-heat-ace.com/zh/posts/photoresist-curing-infrared-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-ace.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="光刻胶固化红外灯"></p> <p>在光刻过程中，绝对不能有温度波动。哪怕只有半度的温度偏差，都会影响到光刻胶的固化效果，进而导致难<a href="https://henruite.com">以控制</a>CD的精度。如果让加热过程出现波动，就容易产生边缘不平整、<a href="https://goldisgood.com">杂质等问题</a>，甚至会导致光刻胶无法正常附着在基底上，而这些问题往往在发现时已经来不及补救了。因此，需要的是那种能够快速加热、精确控制温度且能保持稳定的加热方式，这样才能确保每次处理的结果都一致。</p> <p><strong>关键所在</strong> 我们设计的这种光刻胶固化红外灯使用的是短波近红外线，这样可以让光刻胶快速均匀地升温。在整个加热区域内，晶圆的温度偏差可控制在±0.1°C以内，而且重复性也非常高。该系统可以在1-100级洁净室中使用，不会产生任何颗粒物。此外，它的设计还考虑到了与现有半导体制造设备的接口和热特性相匹配的问题。我们还会明确说明其输出功率、响应时间以及稳定性，因为加热步骤必须是一个可控的固定流程，而不是一个需要不断调整的变量。</p>