http://ir-heat-ace.com/zh/tags/%E5%85%89%E5%88%BB%E8%83%B6/ Recent content in 光刻胶 on Premium Infrared Heat Ace Hugo zh Mon, 01 Jun 2026 20:38:15 +0800 http://ir-heat-ace.com/zh/posts/best-infrared-lamp-for-photoresist/ Mon, 01 Jun 2026 20:38:15 +0800 http://ir-heat-ace.com/zh/posts/best-infrared-lamp-for-photoresist/ <p><img src="http://ir-heat-ace.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="最佳光刻胶红外灯"></p> <p>在光刻车间，光刻胶烘烤不仅是一个热处理步骤，更是一个尺寸控制步骤。软烘烤温度漂移1°C，会直接反映在关键尺寸控制和侧壁轮廓上。基于这一实际需求，我们设计了专用的红外灯用于光刻胶，目标是在晶圆层面实现±0.1°C的热均匀性，并确保整个批次的烘烤曲线稳定可重复。</p>