Bộ gia nhiệt TSV (Qua lớp silicon)

Trên dây chuyền 300mm, việc xếp chồng TSV sẽ gặp trục trặc ngay khi độ đồng đều nhiệt bắt đầu lệch. Chỉ một độ C sai số trong quá trình nung...