Вступ Справа у тому, що ми не планували просто створити ще одну лампу. Ми розробили цю замінку для обладнання Mattson RTP так, щоб вона могла...

Прецизійні галогенні нагрівачі: секрет збереження стабільності температури на рівні 0,1°C у заводах з виробництва пластин Ми створили ці галогенні...

На поверхні плати відбувається процес висушування фотолейту – саме тут визначається температурний режим для всього циклу літографії. Якщо лампа...

На заводі з виробництва плівок термічні зміни не є просто відхиленнями – це фактори, які значно погіршують якість продукції. Якщо камера для...

На виробничій лінії навіть напівградусна зміна температури під час процедури нагрівання достатня, щоб порушити контроль за критичними розмірами та...

На літографічному столі не можна допускати жодних відхилень у температурі. Навіть незначне зміщення температури на півградуса може порушити профіль...

На виробничій лінії достатньо лише 0,5°C зміни температури під час процесу випалювання фоторезисту, щоб це вплинуло на ширину ліній на пластині та...

На виробничій лінії ремонт інструментів не є частиною запланованого процесу – це справжній хаос. Коли зламується пристрій для нанесення покриття,...

На літорафтному поверсі все йде за звичним сценарієм. Навіть незначне відхилення підпічки на частку градуса може проявитися як варіація ширини лінії...

Out on the 300mm line, TSV stacking falls apart the moment thermal uniformity starts to drift. A single degree Celsius of excursion during the...

На литографічному полі випікання фоторезисту — це не просто термічний етап, а параметр, що впливає на розміри. Зміщення температури на 1°C під час...