http://ir-heat-ace.com/tr/tags/silikon/ Recent content in Silikon on Premium Infrared Heat Ace Hugo tr Tue, 02 Jun 2026 06:22:15 +0800 http://ir-heat-ace.com/tr/posts/tsv-through-silicon-via-heater/ Tue, 02 Jun 2026 06:22:15 +0800 http://ir-heat-ace.com/tr/posts/tsv-through-silicon-via-heater/ <p><img src="http://ir-heat-ace.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="TSV (Silisyum İçinden Geçen Kanal) ısıtıcı"></p> <p>300mm hattında, TSV yığılması termal homojenlik sapmaya başladığı anda bozulur. Fotoresist pişirme sırasında tek bir santigrat derece dalgalanma, via profilini bozabilir ve termal döngüden kaynaklanan partikül patlaması tüm partiyi yok edebilir. TSV ısıtıcısını bu belirsizliği <a href="https://henruite.com">ortadan</a> kaldırmak için geliştirdik.</p> <p><strong>Teknik olarak nasıl çalışır</strong> Kuvars bazlı termal mimariye sahip kısa dalga infrared eleman kullanıyoruz, böylece ısı doğrudan ve hızlı iletilir—sıcak nokta oluşmaz. Wafer üzerinde, kararlı durum homojenliği ±0.1°C içinde kalır ve pişirmeden pişirmeye tekrarlanabilirlik ±0.05°C seviyesindedir. Rampalama hızı kontrollü aşım ile 10°C/s üzerine çıkarak, yığılmış dielektriklerin termal bütçesini korur.</p>