http://ir-heat-ace.com/tr/tags/p%C3%BCsk%C3%BCrtme/ Recent content in Püskürtme on Premium Infrared Heat Ace Hugo tr Tue, 30 Jun 2026 13:05:45 +0800 http://ir-heat-ace.com/tr/posts/semiconductor-sputtering-heater/ Tue, 30 Jun 2026 13:05:45 +0800 http://ir-heat-ace.com/tr/posts/semiconductor-sputtering-heater/ <p><img src="http://ir-heat-ace.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Yarı iletken püskürtme ısıtıcısı"></p> <p>Üretim alanlarında termal dalgalanmalar <a href="https://henruite.com">sadece</a> küçük sapmalar değildir; aynı zamanda ürün kalitesini düşüren faktörlerdir. Hedefden biraz olsun sapan bir spreyleme odası, filmin üzerinde stres yaratır ve kalınlıkta düzensizliklere neden olur. Bu durum da doğrudan litografi ve aşındırma işlemlerini olumsuz etkiler. Bu tür belirsizlikleri ortadan kaldırmak için kızılötesi ısıtıcılar geliştirdik; böylece depozisyon sürecinin stabilitesi wafer yüzeyinde sağlanmış olur.</p> <p>Kısa dalga boyundaki kızılötesi ısıtıcılar, hızlı ve doğrudan ısı transferi sağlayarak waferin kalınlığını ±0,1°C aralığında tutar. Kuvars radyatör yapısı ve kapalı döngü kontrolü sayesinde termal stabilite sağlanır; böylece istenen kalınlığa ulaşılır. Fotoresist işlemlerinde ise bu kızılötesi sistem, önceden ısıtma işlemlerinde tekrarlanabilir sonuçlar verir ve temiz, tutarlı sonuçlar elde edilir. Böylece daha az hata ve sorun yaşanır.</p>