Wafer aracı için sıcaklık sensörü
Neden “Yeterince İyi” Olmak Wafer Araçları İçin Yeterli Değil?
Wafer araçları için ısıtıcı elemanlar veya sensörler gönderirken “rastgele örnekleme”...
Fabrikasyon ekipmanlarının onarımı için kızılötesi ısıtıcı
Üretim alanında, aletlerin onarımı planlanmış bir işlem değildir; bu, acil bir durumdur. Eğer kaplama/taşıma mekanizması, ısıtma modülü veya bağlantı...