http://ir-heat-ace.com/ru/tags/%D1%84%D0%BE%D1%82%D0%BE%D1%80%D0%B5%D0%B7%D0%B8%D1%81%D1%82/ Recent content in Фоторезист on Premium Infrared Heat Ace Hugo ru Tue, 23 Jun 2026 00:38:44 +0800 http://ir-heat-ace.com/ru/posts/photoresist-curing-infrared-lamp/ Tue, 23 Jun 2026 00:38:44 +0800 http://ir-heat-ace.com/ru/posts/photoresist-curing-infrared-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-ace.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Инфракрасная лампа для высыхания фоторезиста"></p> <p>На литографической поверхности нельзя допускать никаких отклонений. Даже небольшое отклонение температуры в полградуса может нарушить правильную структуру фоторезиста. В таком случае приходится постоянно бороться с проблемами, связанными с контролем температуры. Если же температура будет меняться значительно, это приведет к образованию излишков материала на краях поверхности, а также к потере адгезии – что становится очевидно слишком поздно, чтобы его можно было исправить. Необходимо использовать тепло, которое быстро распространяется именно туда, где нужно, и остается на месте из цикла в цикл.</p> http://ir-heat-ace.com/ru/posts/best-infrared-lamp-for-photoresist/ Mon, 01 Jun 2026 20:38:15 +0800 http://ir-heat-ace.com/ru/posts/best-infrared-lamp-for-photoresist/ <p><img src="http://ir-heat-ace.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Лучшая инфракрасная лампа для фоторезиста"></p> <p>На литографическом участке запекание фоторезиста — это не просто термический этап, а этап, влияющий на размерные параметры. Отклонение температуры мягкого запекания на 1°C проявится в контроле критических размеров и профиля боковых стенок. Мы разработали инфракрасную лампу для фоторезиста с учётом этого требования, ориентируясь на термическое равномерное распределение на уровне пластины ±0,1°C и повторяемость профилей запекания на всей партии.</p> <p><strong>Что важно с технической точки зрения</strong><br> Мы используем коротковолновое инфракрасное излучение с быстродействующим излучателем для подачи тепла быстро и точно. Система строго поддерживает заданную температуру как во время мягкого, так и во время жёсткого запекания, используя замкнутый контур управления, который компенсирует старение лампы и колебания напряжения в сети. Конструкция совместима с чистыми помещениями класса 1–100, применяя материалы и уплотнения, минимизирующие генерацию частиц. В производстве это означает снижение количества дефектов, стабильный выход годных изделий и постоянство характеристик фоторезиста от первой до последней пластины.</p>