На литографической поверхности нельзя допускать никаких отклонений. Даже небольшое отклонение температуры в полградуса может нарушить правильную...

На литографическом участке запекание фоторезиста — это не просто термический этап, а этап, влияющий на размерные параметры. Отклонение температуры...