Introdução A verdade é que não tínhamos como objetivo criar apenas mais uma lâmpada. Construímos este substituto para o Mattson RTP com o objetivo de...

Aquecedores Halogênicos de Alta Precisão: O segredo para manter uma estabilidade de 0,1°C nas fábricas de wafers Criamos esses aquecedores...

Na área de fabricação, o processo de endurecimento do fotoresist é onde se define o perfil térmico para todo o ciclo de litografia. Se a lâmpada...

Na linha de produção, as flutuações térmicas não são apenas desvios – elas também causam problemas na qualidade dos filmes depositados. Uma câmara de...

Na linha de produção, uma variação de meio grau na temperatura durante o processo de cozimento é suficiente para comprometer o controle das dimensões...

No chão de quartzo, não se pode permitir nenhum tipo de desvio. Uma temperatura ligeiramente diferente, mesmo que seja de meio grau, pode afetar o...

Na linha de produção, uma variação de temperatura de 0,5°C durante o processo de secagem do fotoresist já é suficiente para comprometer a precisão...

Na fábrica, a reparação de ferramentas não faz parte do plano de trabalho regular – é algo que precisa ser resolvido com urgência. Quando um...

No chão de litografia, você sabe como funciona. Um soft bake que está fora até mesmo por uma fração de grau pode resultar em variação de largura de...

Na linha de 300mm, o empilhamento TSV falha no momento em que a uniformidade térmica começa a se desviar. Uma variação de um grau Celsius durante a...

No piso de litografia, o bake do fotoresiste não é apenas uma etapa térmica — é dimensional. Uma variação de 1°C no soft bake se refletirá no...