http://ir-heat-ace.com/ko/tags/%ED%8F%AC%ED%86%A0%EB%A0%88%EC%A7%80%EC%8A%A4%ED%8A%B8/ Recent content in 포토레지스트 on Premium Infrared Heat Ace Hugo ko Tue, 23 Jun 2026 00:38:45 +0800 http://ir-heat-ace.com/ko/posts/photoresist-curing-infrared-lamp/ Tue, 23 Jun 2026 00:38:45 +0800 http://ir-heat-ace.com/ko/posts/photoresist-curing-infrared-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-ace.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="포토레지스트 경화용 적외선 램프"></p> <p>리소그래피 공정에서는 오차가 허용되지 않습니다. 단 0.5도만큼의 미세한 온도 변동이라도 포토레지스트의 성질을 바꿔버릴 수 있으며, 그 결과 CD 제어가 어려워집니다. 반대로 과도한 열을 가하면 가장자리에 이물질이 생기거나, 점착력이 떨어지는 문제가 발생할 수 있습니다. 이러한 문제들은 나중에 수정하기가 매우 어렵습니다. 따라서 필요한 것은 빠르게 열을 전달하고, 원하는 위치에 정확하게 열을 공급하여 반복적으로 안정적으로 작동할 수 있는 시스템입니다.</p> http://ir-heat-ace.com/ko/posts/best-infrared-lamp-for-photoresist/ Mon, 01 Jun 2026 20:38:15 +0800 http://ir-heat-ace.com/ko/posts/best-infrared-lamp-for-photoresist/ <p><img src="http://ir-heat-ace.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="포토레지스트용 최고의 적외선 램프"></p> <p>리소그래피 작업장에서는 포토레지스트 베이크가 단순한 열처리 단계를 넘어서 치수 제어 단계이기도 하다. 소프트 베이크 시 1°C의 온도 편차는 치명적인 치수 제어와 사이드월 프로파일에 영향을 미친다. 이에 맞춰 포토레지스트용 적외선 램프를 설계했으며, 웨이퍼 단위 열 균일도를 ±0.1°C 이내로 유지하고 전체 로트에 걸쳐 베이크 프로파일이 반복되도록 목표를 설정했다.</p>