http://ir-heat-ace.com/ko/tags/%EC%B9%98%EB%A3%8C/ Recent content in 치료 on Premium Infrared Heat Ace Hugo ko Tue, 23 Jun 2026 00:38:45 +0800 http://ir-heat-ace.com/ko/posts/photoresist-curing-infrared-lamp/ Tue, 23 Jun 2026 00:38:45 +0800 http://ir-heat-ace.com/ko/posts/photoresist-curing-infrared-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-ace.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="포토레지스트 경화용 적외선 램프"></p> <p>리소그래피 공정에서는 오차가 허용되지 않습니다. 단 0.5도만큼의 미세한 온도 변동이라도 포토레지스트의 성질을 바꿔버릴 수 있으며, 그 결과 CD 제어가 어려워집니다. 반대로 과도한 열을 가하면 가장자리에 이물질이 생기거나, 점착력이 떨어지는 문제가 발생할 수 있습니다. 이러한 문제들은 나중에 수정하기가 매우 어렵습니다. 따라서 필요한 것은 빠르게 열을 전달하고, 원하는 위치에 정확하게 열을 공급하여 반복적으로 안정적으로 작동할 수 있는 시스템입니다.</p>