http://ir-heat-ace.com/ko/tags/%EC%B5%9C%EA%B3%A0%EC%9D%98/ Recent content in 최고의 on Premium Infrared Heat Ace Hugo ko Mon, 01 Jun 2026 20:38:15 +0800 http://ir-heat-ace.com/ko/posts/best-infrared-lamp-for-photoresist/ Mon, 01 Jun 2026 20:38:15 +0800 http://ir-heat-ace.com/ko/posts/best-infrared-lamp-for-photoresist/ <p><img src="http://ir-heat-ace.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="포토레지스트용 최고의 적외선 램프"></p> <p>리소그래피 작업장에서는 포토레지스트 베이크가 단순한 열처리 단계를 넘어서 치수 제어 단계이기도 하다. 소프트 베이크 시 1°C의 온도 편차는 치명적인 치수 제어와 사이드월 프로파일에 영향을 미친다. 이에 맞춰 포토레지스트용 적외선 램프를 설계했으며, 웨이퍼 단위 열 균일도를 ±0.1°C 이내로 유지하고 전체 로트에 걸쳐 베이크 프로파일이 반복되도록 목표를 설정했다.</p>